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周卫东

作品数：4 被引量：8H指数：1
供职机构：四川大学制造科学与工程学院激光应用技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 3篇金属学及工艺
  • 2篇电子电信

主题

  • 3篇在线检测
  • 3篇微观形貌
  • 3篇表面微观形貌
  • 2篇无接触
  • 1篇在线检测装置
  • 1篇分辨率
  • 1篇高分辨率
  • 1篇超精
  • 1篇超精密
  • 1篇超精密加工

机构

  • 4篇四川大学

作者

  • 4篇周卫东
  • 3篇周肇飞
  • 2篇李文杰
  • 2篇张涛
  • 1篇张涛
  • 1篇王世华

传媒

  • 1篇光电工程
  • 1篇第三届四川省...

年份

  • 1篇2001
  • 1篇2000
  • 1篇1997
  • 1篇1995
共 4 条 记 录，以下是 1-4
全选 清除 导出
排序方式：
在线检测超精细表面微观形貌的激光轮廓仪
该文介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨率激光轮廓仪。此仪器具有很高的共模抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于0.2纳米(Ra)。可以摆放在金刚石车床的刀架上测量超精密加工表面微观形貌。
周肇飞周卫东李文杰张涛
关键词：在线检测微观形貌
文献传递
在线检测超精细表面微观形貌的激光轮廓仪被引量：8
2001年
介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨力激光轮廓仪。此仪器具有很高的共模抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于 0 .2 nm( Ra)。
周肇飞张涛周卫东李文杰
关键词：在线检测
无接触高分辨率激光轮廓仪及其在线检测装置
周肇飞迟桂纯周卫东王世华张涛
该项目属机械工程学科中的仪器仪表技术。其功能是用同轴差动干涉原理测量精细表面的微观形貌。它既能测出二维的断面形貌，也能测三维的表面立体形貌，精细到A级。不仅适用于在实验室测量并且已发展成能够在线检测超精加工表面微观形貌和...
关键词：
关键词：无接触高分辨率在线检测装置
超精密加工表面微观形貌无接触在线检测技术的研究
周卫东
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共1页<1>
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