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张智

作品数：5 被引量：5H指数：1
供职机构：华中理工大学光电子工程系更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 5篇电子电信

主题

  • 2篇硅
  • 2篇场发射
  • 2篇场发射阵列
  • 1篇阵列
  • 1篇探测器
  • 1篇探测器组件
  • 1篇透镜
  • 1篇准直
  • 1篇微透镜
  • 1篇离子束
  • 1篇离子束刻蚀
  • 1篇面阵
  • 1篇刻蚀
  • 1篇空间分辨率
  • 1篇激光
  • 1篇激光器
  • 1篇光刻
  • 1篇红外
  • 1篇红外探测
  • 1篇红外探测器

机构

  • 5篇华中理工大学
  • 2篇华中光电技术...

作者

  • 5篇易新建
  • 5篇张新宇
  • 5篇张智
  • 3篇赵兴荣
  • 2篇何苗
  • 2篇汤庆乐
  • 1篇刘鲁勤

传媒

  • 3篇华中理工大学...
  • 1篇光电子．激光
  • 1篇Journa...

年份

  • 2篇2000
  • 1篇1999
  • 2篇1998
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
面阵折射微透镜与红外焦平面结构
2000年
分析了利用面阵凸折射微透镜来增大红外凝视焦平面成像器件的填充系数 ,进而提高信噪比以改善器件光电响应特性的物理机制 ,讨论了引入凸折射微透镜阵列对红外焦平面器件的空间分辨率、探测率D
张新宇汤庆乐张智易新建
关键词：空间分辨率
半导体激光器出射光束的折射微透镜准直被引量：3
2000年
讨论了利用柱形折射微透镜来改善强功率半导体激光器出射光束平行性的问题 ,给出了强功率半导体激光器出射光束的准直平行性通过柱形折射微透镜的作用得到显著改善的几个关键因素 。
张新宇汤庆乐张智易新建
关键词：半导体激光器准直
微透镜和高Tc超导红外探测器组件被引量：1
1998年
本文首次报道了利用微透镜阵列来提高ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器的光响应特性，介绍了利用光刻／离子束刻蚀的方法制作单片线列石英微透镜阵列的工艺以及制备线列ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器的方法，并将所制的石英微透镜阵列应用于ＹＢＣＯ超导器件。实验结果显示，所制超导红外探测器阵列的光响应特性有明显改善。
张新宇易新建赵兴荣何苗张智刘鲁勤
关键词：YBCO红外探测器超导器件
128×128元硅场发射阵列的氩离子束刻蚀制作
1999年
利用光刻及氩离子束刻蚀制作面阵硅场发射器件，采用扫描电子显微镜和表面探针等分析所制样品的表面微结构形貌，定性讨论了刻蚀用氩离子束的能量及光致抗蚀剂掩模图形的厚度变化时所制成的面阵器件的形貌变化特点．
张新宇易新建赵兴荣张智何苗
关键词：光刻
面阵硅场发射阵列的离子束刻蚀被引量：1
1998年
利用光刻热熔法及氩离子束刻蚀技术制作１２８×１２８元面阵硅场发射器件，采用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和表面探针等测试手段分析所制成的面阵硅微尖阵列和硅微台（微环尖）阵列的表面微结构形貌特点．所制成的面阵硅微尖和硅微台（微环尖）器件的图形整齐均匀，达到了预定的各项指标的要求．实验表明，所采用的器件制作方法有较大的实用价值．
张新宇赵兴荣易新建张智
关键词：场发射离子束刻蚀
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