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裴格
作品数:
1
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供职机构:
华中理工大学光电子工程系激光技术国家重点实验室
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
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合作作者
李再光
华中理工大学光电子工程系激光技...
刘大明
华中理工大学光电子工程系激光技...
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华中理工大学
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刘大明
1篇
李再光
1篇
裴格
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低温与超导
年份
1篇
1992
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原位YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜正交相的形成与氧的活性的热力学研究
1992年
在激光原位淀积YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜过程中,氧气的分压是一个非常重要的参数。在薄膜的生长过程中氧气分压的瞬间减少薄膜中就会产生缺陷,会严重地影响正交相的形成。该文对制备原位YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜过程中正交相的形成与氧的活性的关系进行了热力学研究。计算结果表明,在环境气氛中氧原子等具有较高化学位成份的存在可大大地降低在生长过程中所必需的氧的分压。为等离子体辅助下低温原位淀积YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜的机理提供了理论解释。
焦树良
裴格
刘大明
官文杰
李再光
关键词:
淀积
超导薄膜
热力学
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