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石小亮

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京科华微电子材料有限公司更多>>

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇调压阀
  • 1篇真空泵
  • 1篇真空系统
  • 1篇输出端
  • 1篇抽真空

机构

  • 1篇北京科华微电...
  • 1篇北京科华丰园...

作者

  • 1篇石小亮

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种抽真空系统
本实用新型属于真空系统技术领域，公开了一种抽真空系统，包括：用于抽真空的真空泵、用于缓冲的缓冲瓶和应用设备，所述真空泵和应用设备之间连接有缓冲瓶，所述真空泵和缓冲瓶之间设有调压阀，所述真空泵包括第一真空泵和第二真空泵，所...
石小亮欧永英
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