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张学一
作品数:
3
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈鲁
中国科学院微电子研究所
张超前
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
刘立拓
中国科学院微电子研究所
杨乐
中国科学院微电子研究所
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作者
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陈鲁
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张学一
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张超前
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张朝前
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杨乐
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1篇
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1篇
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LED光学特性检测方法及检测装置
本发明提供一种LED光学特性检测方法及检测装置,方法包括:提供激光光源;提供光栅,将光栅放置在激光光源的光路上;在光栅背后放置LED,使LED有源层与光栅的距离满足泰伯距离,在LED有源层上形成光栅自成像,光栅自成像包括...
陈鲁
夏洋
张超前
张学一
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一种硅片表面颗粒污染成分无损快速在线检测方法及系统
本发明公开了一种硅片表面颗粒污染成分无损快速在线检测方法及系统,先将第一激光照射在硅片表面,将污染颗粒剥离硅片表面;然后在延迟第一预设时间之后利用第二激光将颗粒击穿,得到激光等离子体;两束激光之间的延时几十微秒,从激发颗...
刘立拓
陈鲁
路鑫超
张朝前
杨乐
张学一
文献传递
LED光学特性检测方法及检测装置
本发明提供一种LED光学特性检测方法及检测装置,方法包括:提供激光光源;提供光栅,将光栅放置在激光光源的光路上;在光栅背后放置LED,使LED有源层与光栅的距离满足泰伯距离,在LED有源层上形成光栅自成像,光栅自成像包括...
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夏洋
张超前
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