高芬
- 作品数：4 被引量：5H指数：1
- 供职机构：天津理工大学机械工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 温度及加工误差对梳状微谐振器动力学性能影响的研究
- MEMS技术的快速发展对人类的生产和科学技术进步带来了很大的影响。其中，微谐振器是MEMS中最重要的一种器件，既为精密准确的测量提供了许多新方法，也为研究分析各种物理现象创造了条件。梳状微谐振器是一种典型的微机电器件，它...
- 高芬
- 关键词：工作温度动力学性能
- 文献传递
- 梳状微谐振器结构参数对模态及谐振频率的影响
- 2016年
- 谐振频率的大小是设计微谐振器时必须考虑的重要参变量,采用ANSYS有限元仿真软件分析不同结构尺寸下的微谐振器的谐振频率和模态,主要分析支撑梁长度和梳齿参数对微谐振器模态及谐振频率的影响.分析结果表明,支撑梁长度、梳齿长度及梳齿的个数会影响到微谐振器工作模态的阶次和谐振频率的大小.在微谐振器的相关设计时,可通过调整支撑梁的长度显著改变谐振频率,而谐振频率微调可通过梳齿尺寸的微调实现.
- 郝淑英高芬冯晶晶张昆鹏张琪昌
- 关键词：微谐振器支撑梁模态分析
- 微机械陀螺的刻蚀误差特性分析被引量：4
- 2017年
- 微陀螺仪结构上的腐蚀凹槽或腐蚀腔可以由深层反应离子刻蚀技术得到,加工过程中存在的刻蚀误差对微陀螺的固有频率、输出精度和稳定性有重要的影响.采用有限元分析软件ANSYS建立了一种梳状微机械陀螺的有限元分析模型,采用解析的方法并通过Matlab数学软件进行仿真,研究了由于加工误差导致微梁过度刻蚀对微陀螺驱动模态、检测模态、固有频率、带宽、灵敏度的影响.结果表明,微梁刚度和微陀螺固有频率随着刻蚀角度的增大而增大;最大过度刻蚀角度为±2度时,其驱动模态和检测模态的固有频率的变化率均超过了14%;刻蚀误差会导致微陀螺工作模态降阶,以及干扰模态介于与驱动和检测模态之间且与驱动模态频率相近,这会严重影响微陀螺的输出精度;带宽随过度刻蚀夹角增大而减小,灵敏度随过度刻蚀夹角的变化而发生不规律变化;当刻蚀角度介于0°~1.5°时,微陀螺的灵敏度将高于无刻蚀误差时微陀螺的灵敏度.
- 郝淑英齐成坤罗昔柳冯晶晶高芬张琪昌
- 关键词：固有频率带宽灵敏度
- 热弹性结构阻尼对微谐振器品质因子的影响被引量：1
- 2019年
- 为研究环境温度对微谐振器固有频率和品质因子的影响,采用有限元分析的方法研究了温度对单根微梁和微谐振器固有频率的影响,发现温度对弹性模量的软化作用对固有频率有很大的影响,应综合考虑温度应力和弹性模量软化对固有频率的影响;提出了推导微谐振器等效热弹性结构阻尼的力学模型,通过对支撑梁侧板的巧妙处理导出了微谐振器热弹性阻尼系数与单根微梁的热弹性阻尼系数关系式,为利用Zener标准模型来计算微谐振器的热弹性阻尼及品质因子提供了可能;将有限元分析结果与解析分析方法结合研究了环境温度对微谐振器品质因子的影响规律.
- 孟思郝淑英高芬冯晶晶张琪昌
- 关键词：微谐振器温度特性有限元分析
