张清涛
- 作品数：12 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3功能铁电薄膜的制备及其电性能研究
- 利用溶胶凝胶(sol-gel)技术制备Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT)铁电薄膜,研究了不同的溶剂对溶胶的配制和溶胶稳定性的影响,得到了可以长期稳定放置的溶胶;采用热重分析和差热分析的方法研究了凝...
- 张清涛李艳秋尚永红刘少波
- 关键词：溶胶凝胶铁电薄膜钙钛矿相
- 文献传递
- 一种微制冷器及其制冷方法
- 一种微制冷器及其制冷方法，特别涉及铁电堆阵列微小制冷器及其制冷方法。它以驰豫铁电材料为制冷工质，采用n层铁电堆，m×l铁电堆阵列，共n×m×l个单元制冷片构成微制冷器；每个制冷片采用快速加电场和慢速去电场的电场诱导相变制...
- 李艳秋尚永红刘少波张清涛
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- 一种微制冷器及其制冷方法
- 一种微制冷器及其制冷方法，特别涉及铁电堆阵列微小制冷器及其制冷方法。它以驰豫铁电材料为制冷工质，采用n层铁电堆，mxl铁电堆阵列，共nxmxl个单元制冷片构成微制冷器；每个制冷片采用快速加电场和慢速去电场的电场诱导相变制...
- 李艳秋尚永红刘少波张清涛
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- 多级MEMS铁电制冷器有限元分析
- 在试验的基础上,利用有限元方法建立数学模型,从理论上对多级MEMS铁电制冷器在不同工况下的温度场进行了研究。数值计算结果表明,所有制冷片同时工作时温降比交替工作时要大,在同工况下,层间加压有时间差有利于减弱温度波动,这对...
- 尚永红李艳秋张清涛刘少波
- 关键词：MEMS微型制冷器PMNT有限元法
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- O.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-O.1PbTiO3功能铁电薄膜的制备及其电性能研究
- 本文利用溶胶凝胶(sol-gel)技术制备Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT)铁电薄膜,研究了不同的溶剂对溶胶的配制和溶胶稳定性的影响,得到了可以长期稳定放置的溶胶;采用热重分析和差热分析的方法研究...
- 张清涛李艳秋尚永红刘少波
- 关键词：PMNT铁电薄膜溶胶凝胶钙钛矿相
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- MEMS器件中电极制作工艺的研究被引量：7
- 2005年
- 研究了常用的国产BP212正型紫外光刻胶和光学曝光机在利用剥离工艺制备电极中的适用性。结果表明,采用国产的光刻胶和曝光设备完全可以得到实用性的带有凹面的光刻胶剖面和线条均匀性达到微米级的金属线条,简化了lift-off工艺,降低了成本,改进了金属电极的制备方法。
- 张清涛李艳秋
- 关键词：光刻胶电极
- PMNT铁电薄/厚膜及其MEMS致冷器制备工艺的研究
- 随着MEMS技术的迅速发展，MEMS产品不断向小型化发展，导致热流密度急剧上升，器件的温度迅速增高，严重影响器件的性能，散热问题已经成为MEMS等相关器件发展的关键。在传统冷却技术已经不能满足致冷要求的情况下，利用铁电致...
- 张清涛
- 关键词：铌镁酸铅铁电薄膜溶胶凝胶
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- 多级MEMS铁电制冷器有限元分析
- 本文在试验的基础上,利用有限元方法建立数学模型,从理论上对多级MEMS铁电制冷器在不同工况下的温度场进行了研究.数值计算结果表明,所有制冷片同时工作时温降比交替工作时要大,在同工况下,层间加压有时间差有利于减弱温度波动,...
- 尚永红李艳秋张清涛刘少波
- 关键词：MEMS微型制冷器PMNT有限元法
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- 铌镁酸铅－钛酸铅固溶体超细粉体的制备方法
- 一种铌镁酸铅－钛酸铅固溶体超细粉体的制备方法。其特征在于改变了常规超细粉体制备方法(溶胶凝胶法和共沉淀法)的制备流程，采用带有蠕动泵的毛细管缓慢地将溶胶加入到一种碱性溶液中的手段控制粉体的生成条件，从根本上限制了粉体颗粒...
- 张清涛李艳秋刘少波
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- 铌镁酸铅－钛酸铅固溶体超细粉体的制备方法
- 一种铌镁酸铅-钛酸铅固溶体超细粉体的制备方法。其特征在于改变了常规超细粉体制备方法(溶胶凝胶法和共沉淀法)的制备流程，采用带有蠕动泵的毛细管缓慢地将溶胶加入到一种碱性溶液中的手段控制粉体的生成条件，从根本上限制了粉体颗粒...
- 张清涛李艳秋刘少波
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