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孙庆平

作品数：1 被引量：20H指数：1
供职机构：香港科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...

机构

  • 1篇香港科技大学
  • 1篇中国科学院力...

作者

  • 1篇余同希
  • 1篇赵亚溥
  • 1篇杨业敏
  • 1篇张泰华
  • 1篇孙庆平

传媒

  • 1篇机械强度

年份

  • 1篇2001
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微型材料的拉伸测试方法研究被引量：20
2001年
微电子机械系统技术的迅速崛起 ,推动了微型材料拉伸测试方法的发展。文中列举几种典型的微型材料拉伸实验方法 ,具体说明其驱动方式、力和位移测试原理 ,并介绍实验中的难点 ,如试样加工、夹持和对中等方法。
张泰华杨业敏赵亚溥余同希孙庆平
关键词：微电子机械系统
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共1页<1>
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