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王均武

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 5篇等离子体
  • 5篇激光
  • 3篇电极
  • 3篇液滴
  • 3篇圆盘电极
  • 3篇激光诱导
  • 2篇电极寿命
  • 2篇放电
  • 1篇单色
  • 1篇单色光
  • 1篇单色激光器
  • 1篇信号
  • 1篇信号发生
  • 1篇信号发生器
  • 1篇旋转圆盘电极
  • 1篇振动
  • 1篇振动法
  • 1篇同步信号
  • 1篇同步信号发生...
  • 1篇重复频率

机构

  • 5篇华中科技大学

作者

  • 5篇王均武
  • 4篇左都罗
  • 4篇王新兵
  • 3篇陆培祥
  • 3篇兰慧
  • 1篇李航

年份

  • 1篇2021
  • 2篇2017
  • 2篇2016
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种激光诱导液滴靶放电产生等离子体的装置
本发明提出一种激光诱导液滴锡靶放电产生等离子体极紫外光源的装置，包括储锡池、旋转圆盘、锡液、温度控制器、阻拦屏、旋转圆面屏、电极对和激光器等。该装置通过将旋转圆盘部分浸入液态锡中，利用了高速圆周离心力作用产生逃逸的液态锡...
王均武王新兵兰慧左都罗陆培祥
文献传递
一种旋转圆盘产生液滴靶及等离子体的装置
本发明提出一种用于激光作用的液滴锡靶产生装置。本发明结合锡液滴和旋转圆盘的技术特点，利用旋转圆盘离心力产生锡液滴，实现了液态锡靶在高重复频率下的连续供应。该技术方案一方面克服了现有喷嘴振动法对装置性能的较高要求，另一方面...
王均武王新兵兰慧左都罗陆培祥
文献传递
一种基于激光阴影法检测等离子体密度分布的装置
本实用新型公开了一种基于激光阴影法检测等离子体密度分布的装置，包括单色激光器，双透镜扩束系统，聚焦透镜，滤波片，毛玻璃片，ICCD相机，数据处理模块和同步信号发生器；单色激光器、双透镜扩束系统、滤波片、毛玻璃片和ICCD...
李航王新兵王均武左都罗
文献传递
一种激光诱导液滴靶放电产生等离子体的装置
本发明提出一种激光诱导液滴锡靶放电产生等离子体极紫外光源的装置，包括储锡池、旋转圆盘、锡液、温度控制器、阻拦屏、旋转圆面屏、电极对和激光器等。该装置通过将旋转圆盘部分浸入液态锡中，利用了高速圆周离心力作用产生逃逸的液态锡...
王均武王新兵兰慧左都罗陆培祥
激光诱导放电等离子体及其极紫外辐射特性的研究
在半导体制造产业中，曝光过程采用短波长的极紫外光（Extremeultraviolet,EUV）可以使得集成电路中元件的特征尺寸大幅度减小,激光等离子体（Laserproducedplasma，LPP）极紫外光源已经投入...
王均武
关键词：发射光谱诊断
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