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董瑞
作品数:
4
被引量:3
H指数:1
供职机构:
哈尔滨理工大学
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相关领域:
化学工程
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合作作者
刘冰
哈尔滨理工大学
吴石
哈尔滨理工大学
徐雳
哈尔滨理工大学
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机构
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哈尔滨理工大...
作者
4篇
董瑞
3篇
徐雳
3篇
吴石
3篇
刘冰
年份
1篇
2018
2篇
2016
1篇
2015
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4
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龙门式蓝宝石晶片双面研磨/抛光机
<b>本实用新型涉及一种龙门式蓝宝石晶片双面研磨</b><b>/</b><b>抛光机。目前在蓝宝石晶片生产加工中采用悬臂式双面研磨抛光机,该设备结构复杂,维修困...
徐雳
董瑞
吴石
刘冰
文献传递
龙门式蓝宝石晶片双面研磨/抛光机及研磨抛光的方法
本发明涉及一种龙门式蓝宝石晶片双面研磨/抛光机及研磨抛光的方法。目前在蓝宝石晶片生产加工中采用悬臂式双面研磨抛光机,该设备结构复杂,维修困难,在研磨抛光过程中,由于上下研磨盘的之间相对运动,容易导致悬臂结构左右晃动。本发...
徐雳
董瑞
吴石
刘冰
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龙门式蓝宝石晶片双面研磨/抛光机及研磨抛光的方法
<b>本发明涉及一种龙门式蓝宝石晶片双面研磨</b><b>/</b><b>抛光机及研磨抛光的方法。目前在蓝宝石晶片生产加工中采用悬臂式双面研磨抛光机,该设备结构...
徐雳
董瑞
吴石
刘冰
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双面研磨/抛光机结构设计及磨削轨迹研究
随着信息技术的发展,对蓝宝石基片、多晶硅单晶硅等电子器件基片的市场需求日益增加,对其表面质量提出更严格要求。双面研磨/抛光机正是进行基片超精密表面加工的主要设备,如何高效地获得超平滑无损伤表面的晶片已经成为研究热点。目前...
董瑞
关键词:
蓝宝石晶片
研磨机
抛光机
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