您的位置： 专家智库 > >

赵江波

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：华越微电子有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硅
  • 1篇电容
  • 1篇质量流量计
  • 1篇水管
  • 1篇水回收
  • 1篇屏蔽层
  • 1篇气路系统
  • 1篇中位
  • 1篇自来水
  • 1篇流量计
  • 1篇进水管
  • 1篇冷却水
  • 1篇回收
  • 1篇隔膜阀
  • 1篇工艺废水
  • 1篇废水
  • 1篇废水回收
  • 1篇CVD设备
  • 1篇补水

机构

  • 3篇华越微电子有...

作者

  • 3篇余庆
  • 3篇赵江波
  • 2篇张晓新

年份

  • 3篇2018
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
一种工艺废水回收系统
本实用新型公开了一种工艺废水回收系统，包括回收水箱和纯水生产原水箱；所述的回收水箱和纯水生产原水箱的顶部分别开设有溢流口；所述的纯水生产原水箱顶部还通过管路与自来水补入口相连；所述的纯水生产原水箱底部通过管路与第二水泵相...
张敏森张晓新余庆方勇进张国成赵江波杨勇王艳兵
文献传递
适用于电容用氮化硅和做屏蔽层保护用氮化硅的气路系统
本实用新型公开了一种适用于电容用氮化硅和做屏蔽层保护用氮化硅的气路系统，包括第四进气管；所述的第四进气管上依次安装有第四隔膜阀、第四调压阀、第十七常闭气动阀；所述的第四进气管与第五质量流量计通过管路相连；所述的第十常闭气...
杨勇余庆赵江波王艳兵方勇进张敏森张国成
文献传递
一种常压CVD设备的冷却水循环系统
本实用新型公开了一种常压CVD设备的冷却水循环系统，包括热交换器、循环水箱、循环泵、流量计、喷头，所述的循环泵与流量计之间的管路上安装有第一单向阀；所述的喷头与热交换器之间的管路上安装有常闭阀,所述的常闭阀的两端安装有回...
赵江波余庆张晓新张敏森杨勇王艳兵方勇进
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0