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董桂荣

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇无显影气相光...
  • 1篇光刻
  • 1篇高聚物

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇洪啸吟
  • 1篇李钟哲
  • 1篇董桂荣
  • 1篇刘丹

传媒

  • 1篇高分子学报

年份

  • 1篇1994
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
聚合物在无显影气相光刻工艺中的作用被引量：1
1994年
研究了聚合物在无显影气相光刻过程中的作用，由此解释了无显影气相光刻过程中曝光区和非曝光区高腐蚀速度差，高分辨率和高腐蚀纵宽比的原因．
洪啸吟刘丹李钟哲董桂荣
关键词：高聚物
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共1页<1>
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