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文献类型

  • 15篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 9篇坩埚
  • 4篇基板
  • 3篇遮挡
  • 3篇气压
  • 3篇气压传感器
  • 3篇可旋转
  • 3篇棘轮
  • 3篇棘轮机构
  • 3篇棘爪
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇镀膜
  • 2篇镀膜技术
  • 2篇支撑架
  • 2篇抓取
  • 2篇组件
  • 2篇污染
  • 2篇可移动
  • 2篇空气污染

机构

  • 15篇京东方科技集...

作者

  • 15篇张鑫狄
  • 8篇付文悦
  • 7篇孙俊民
  • 5篇崔伟
  • 5篇张峰杰
  • 2篇冯长海

年份

  • 3篇2019
  • 3篇2018
  • 5篇2017
  • 4篇2015
15 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
蒸镀设备
本实用新型涉及显示器制备技术领域,公开了一种蒸镀设备,用以减少遮挡板上的有机材料进入蒸发源和坩埚内现象的发生,提高蒸发源的使用寿命和坩埚内材料的品质。蒸镀设备,包括:蒸镀腔室,位于蒸镀腔室内的蒸发源,位于蒸发源内的坩埚,...
付文悦张鑫狄
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蒸镀设备和蒸镀方法
本发明是关于一种蒸镀设备和蒸镀方法,属于镀膜技术领域。蒸镀设备包括:镀膜腔室和至少一个蒸发源腔室,镀膜腔室中设置有基片放置组件,第一蒸发源腔室中设置有蒸发源放置组件,蒸发源放置组件用于放置蒸发源,第一蒸发源腔室为至少一个...
张鑫狄孙俊民
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一种堵孔处理装置及处理方法
本发明涉及蒸镀技术领域,具体涉及一种堵孔处理装置及处理方法。该堵孔处理装置包括疏通单元、支撑单元及驱动单元;所述疏通单元设置于支撑单元上,所述驱动单元用于驱动所述疏通单元绕所述支撑单元转动,以使所述疏通单元的一端插入至待...
张鑫狄
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一种更换坩埚装置
本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种更换坩埚装置。该更换坩埚装置包括:基座、第一机械手臂和第二机械手臂;所述第一机械手臂与第二机械手臂分别设置在基座上,且随所述基座同步进行转向与升降动作;所述第一机械手臂的一端用于抓取待...
张鑫狄
蒸发源
本发明提供一种蒸发源,属于真空蒸镀技术领域,其可至少部分解决现有的蒸发源产生的蒸气均匀性差的问题。本发明的蒸发源包括:腔室,其分为多个区域,每个区域中设有至少一个出气孔以及至少一个气压传感器;多个与所述腔室相连的坩埚,每...
张鑫狄崔伟付文悦张峰杰孙俊民
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蒸镀设备
本发明涉及显示器制备技术领域,公开了一种蒸镀设备,用以减少遮挡板上的有机材料进入蒸发源和坩埚内现象的发生,提高蒸发源的使用寿命和坩埚内材料的品质。蒸镀设备,包括:蒸镀腔室,位于蒸镀腔室内的蒸发源,位于蒸发源内的坩埚,位于...
付文悦张鑫狄
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蒸镀装置
本发明公开了一种蒸镀装置,包括:蒸镀室;设置于所述蒸镀室内的载架,所述载架用于承载被蒸镀的基板;固定于所述载架下方的纵向轨道;与所述纵向轨道连接的第一横向轨道且所述第一横向轨道可沿所述纵向轨道上下移动靠近或远离载架;设置...
孙俊民崔伟张鑫狄付文悦冯长海
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一种更换坩埚装置
本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种更换坩埚装置。该更换坩埚装置包括:基座、第一机械手臂和第二机械手臂;所述第一机械手臂与第二机械手臂分别设置在基座上,且随所述基座同步进行转向与升降动作;所述第一机械手臂的一端用于抓取待...
张鑫狄
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蒸镀装置
本发明公开了一种蒸镀装置,包括:蒸镀室;设置于所述蒸镀室内的载架,所述载架用于承载被蒸镀的基板;固定于所述载架下方的纵向轨道;与所述纵向轨道连接的第一横向轨道且所述第一横向轨道可沿所述纵向轨道上下移动靠近或远离载架;设置...
孙俊民崔伟张鑫狄付文悦冯长海
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一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置
本发明实施例提供一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置,涉及蒸镀技术领域。能够解决待蒸镀基板由于承载固定不牢固,而可能导致在蒸镀过程中由于重力变形而发生脱落的问题。包括支撑架,承载件,承载件包括位于承载件前端的承载面,用...
张峰杰张鑫狄
共2页<12>
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