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王学林
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
浙江晶科能源有限公司
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相关领域:
电气工程
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合作作者
马超
浙江晶科能源有限公司
谢斌
浙江晶科能源有限公司
高林
长江大学化学与环境工程学院
涂宏波
浙江晶科能源有限公司
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浙江晶科能源...
作者
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涂宏波
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高林
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王学林
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谢斌
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马超
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化工中间体
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1篇
2013
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晶硅太阳电池氮化硅膜产生色差的影响因素研究
被引量:2
2013年
采用管式PECVD的方法对硅片进行氮化硅镀膜,通过分析PECVD镀膜原理,探索了硅片表面均一性、卡点的导电导热性、反应温度的均匀性以及电场均匀性对氮化硅膜色差的影响。结论表明,硅片表面微观结构差异较大会造成比表面积明显差异,从而使氮化硅薄膜厚度产生显著差异,表现出不同颜色。当导电导热性、反应温度的均匀性以及电场均匀性较差时,气体的反应速率差异较大,同一硅片不同区域的氮化硅膜层生长速率不同,膜层厚度也不同,即容易产生色差片。
涂宏波
马超
王学林
谢斌
高林
关键词:
太阳电池
氮化硅
色差
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