陈丽娟
- 作品数：5 被引量：5H指数：2
- 供职机构：昆明冶研新材料股份有限公司更多>>
- 相关领域：一般工业技术化学工程经济管理电子电信更多>>
- 多晶硅材料制备中施主杂质磷的模拟计算研究被引量：3
- 2013年
- 多晶硅是主要功能半导体材料。磷作为主要施主杂质,其含量直接影响多晶硅的半导体性能。多晶硅制备普遍采用改良西门子工艺,在密闭、复杂的动态工艺系统中,磷存在的化合物、含量及转化,无法实际有效掌握、但又非常重要;利用Aspen plus等软件对流程中主要的工艺系统模拟计算,并结合热力学反应分析,研究磷的分布规律、存在形式和量化含量;研究发现磷的主要化合物类型除PCl3,在还原或氢化炉这种高温、富氢条件下,PCl3会转化成PH3。在还原过程中磷存在富集效应。尾气回收解析塔解析效果的好坏影响着磷去除效果。研究结果表明,若要使还原多晶硅产品符合国标太阳能三级磷≤7.74ppba的要求,则对本文建立的模拟工艺流程,需要精馏前、后的SiHCl3中P应分别≤2557 ppbw和1.79ppbw。
- 宋东明谢刚马卓煌马卓煌张艺陈丽娟
- 关键词：施主杂质模拟计算多晶硅尾气回收氢化炉解析塔
- 制备多晶硅的系统
- 本实用新型提出了一种制备多晶硅的系统，包括：第一、二还原装置；第一、二尾气回收装置，其分别与第一、二还原装置相连；第一氯硅烷分离装置，其分别与第一尾气回收装置和第一还原装置相连；第二氯硅烷分离装置，其与第二尾气回收装置相...
- 宋东明马启坤韩小月陈丽娟耿志萍王金王岭赵桂洁任玖阳周万礼
- 文献传递
- 改良西门子法热氢化反应模拟及工艺参数优化被引量：3
- 2013年
- 介绍了改良西门子法多晶硅生产工艺。利用Aspen Plus对改良西门子法中的热氢化反应进行模拟,研究了反应温度、反应压力和进料配比对三氯氢硅收率的影响,得出进料配比是影响三氯氢硅收率最重要的因素,并运用正交设计的方法找出最优工艺参数,从而指导实际生产。
- 马卓煌宋东明陈丽娟潘红星朱明
- 关键词：多晶硅正交设计工艺参数
- 一种利用还原提纯三氯氢硅制高品质电子级多晶硅的方法
- 本发明提出了一种制备多晶硅的系统和方法。本发明提出的制备多晶硅的系统和制备多晶硅的方法是利用还原回收的三氯氢硅来生产高品质电子级多晶硅产品，高品质电子级多晶硅的产量大而稳定，同时也实现了高品质电子级多晶硅产品和太阳能级以...
- 宋东明韩小月陈丽娟耿志萍王金王岭赵生艳李俊朝赵桂洁蔡永明陆大军马启坤任玖阳周万礼
- 高品质三氯氢硅制备技术的开发及应用
- 李仕勇赵生艳陈丽娟罗平宋东明王金李俊朝刘林陆大军耿志萍谭宗国
- 项目围绕生产中出现的精制三氯氢硅产品质量波动大、精馏废气废液未合理回收排废氯硅烷量大成本高等问题，通过以下措施，提升精制三氯氢硅产品质量以满足电子级多晶硅生产，并降低生产成本：1、新增除轻精馏塔的开发应用，通过模拟软件，...
- 关键词：
- 关键词：三氯氢硅多晶硅生产工艺
