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王文举

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：中国电子科技集团更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇大直径
  • 1篇晶圆
  • 1篇机械手

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇王洪宇
  • 1篇谭立杰
  • 1篇王文举

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
大直径探针台的晶圆自动传输系统被引量：4
2011年
介绍了适应大直径探针台的晶圆自动传输系统及其主要的组成部分——片盒承载台、关节机械手、预对准装置。应用动力学分析证明R-θ型机械手的直线运动轨迹,阐述了机械式和光学预对准装置的主要原理,说明了晶圆自动传输系统的应用前景。
谭立杰王洪宇王文举
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共1页<1>
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