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郭书鹏
作品数:
9
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供职机构:
京东方科技集团股份有限公司
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相关领域:
化学工程
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合作作者
胡长奇
京东方科技集团股份有限公司
邹清华
京东方科技集团股份有限公司
卜斌
京东方科技集团股份有限公司
曾庆慧
京东方科技集团股份有限公司
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化学工程
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机构
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作者
9篇
郭书鹏
4篇
胡长奇
3篇
卜斌
3篇
邹清华
1篇
曾庆慧
年份
1篇
2019
3篇
2017
4篇
2016
1篇
2015
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一种蒸镀组件及蒸镀设备
本发明提供一种蒸镀组件及蒸镀设备,蒸镀组件包括坩埚和壳体,坩埚容置于壳体内,并与壳体间隙设置,气态的待蒸镀材料充满坩埚与壳体之间的间隙内,从壳体内喷出并蒸镀到基板上,壳体能够相对于坩埚转动,可以通过控制壳体的转动角度,得...
邹清华
郭书鹏
卜斌
一种间隙检测装置
本实用新型涉及蒸镀技术领域,尤其涉及一种间隙检测装置,设于载具上,用于在载具相对基板移动时检测载具与基板之间的间距,包括:基座,基座设于载具上;旋转机构,旋转机构可旋转地设于基座上,在载具与基板之间的间距小于预设距离时,...
卜斌
胡长奇
郭书鹏
文献传递
一种蒸镀系统
本发明提供了一种蒸镀系统,涉及蒸镀技术领域,解决了现有技术中将蒸镀基板与盖板分离,出现的基板点灯缺陷等问题。一种蒸镀系统,蒸镀机构包括蒸镀源以及依次位于蒸镀源蒸镀方向侧的蒸镀基板和盖板;盖板包括:边框,边框形成一个包围的...
胡长奇
郭书鹏
邹清华
卜斌
文献传递
一种蒸镀系统
本发明提供了一种蒸镀系统,涉及蒸镀技术领域,解决了现有技术中将蒸镀基板与盖板分离,出现的基板点灯缺陷等问题。一种蒸镀系统,蒸镀机构包括蒸镀源以及依次位于蒸镀源蒸镀方向侧的蒸镀基板和盖板;盖板包括:边框,边框形成一个包围的...
胡长奇
郭书鹏
邹清华
卜斌
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搬送装置、搬送方法及蒸镀设备
本发明提供了一种搬送装置、搬送方法及蒸镀设备,该搬送装置包括:承载机构,用于承载基板;固定机构,用于以机械方式将所述基板固定在所述承载机构上。本发明提供的搬送装置,可以通过固定机构将基板以机械方式固定在承载机构上,相比现...
邹清华
郭书鹏
胡长奇
文献传递
一种蒸镀装置
本实用新型涉及一种蒸镀装置,包括对蒸镀材料进行加热以产生蒸镀气体的坩埚,以及使得蒸镀气体从所述坩埚中喷出的多个喷嘴,所述蒸镀装置还包括与所述喷嘴一一对应、用于监测对应喷嘴是否堵塞的监测感应器。本实用新型的有益效果是:及时...
李元虎
郭书鹏
邹清华
王玉
文献传递
一种蒸镀载板及蒸镀装置
本实用新型涉及有机发光器件制备技术领域,公开一种蒸镀载板及蒸镀装置,蒸镀载板包括载板本体,载板本体上形成玻璃承载面、且设有多个用于针脚穿过的针脚孔,载板本体背离玻璃承载面的一侧表面上设有当玻璃承载面朝向蒸镀源时覆盖各所述...
曾庆慧
郭书鹏
文献传递
一种蒸镀源盖板、蒸镀源及蒸镀装置
本实用新型实施例提供一种蒸镀源盖板、蒸镀源及蒸镀装置,涉及真空蒸发镀膜领域,能够解决蒸镀源的蒸发孔在蒸镀过程中发生堵塞后,堵塞的蒸发孔不易清理疏通的问题。包括盖板本体,以及设置在盖板本体上的弹性疏通件,弹性疏通件沿伸缩方...
胡长奇
郭书鹏
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一种蒸镀组件及蒸镀设备
本发明提供一种蒸镀组件及蒸镀设备,蒸镀组件包括坩埚和壳体,坩埚容置于壳体内,并与壳体间隙设置,气态的待蒸镀材料充满坩埚与壳体之间的间隙内,从壳体内喷出并蒸镀到基板上,壳体能够相对于坩埚转动,可以通过控制壳体的转动角度,得...
邹清华
郭书鹏
卜斌
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