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马洋

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：太原理工大学更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 2篇一般工业技术

主题

  • 2篇电解质
  • 2篇电容
  • 2篇阵列
  • 2篇阵列结构
  • 2篇双电层
  • 2篇微机电系统
  • 2篇微机电系统技...
  • 2篇六面体
  • 2篇金属
  • 2篇金属钛
  • 2篇机电系统
  • 2篇胶体电解质
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇电系统
  • 1篇电极
  • 1篇微电极
  • 1篇微电极阵列
  • 1篇微加工
  • 1篇微加工技术

机构

  • 4篇太原理工大学

作者

  • 4篇赵清华
  • 4篇李刚
  • 4篇马洋
  • 2篇菅傲群
  • 2篇史健芳
  • 2篇胡杰
  • 2篇张文栋
  • 2篇桑胜波
  • 2篇李朋伟
  • 2篇郭丽芳
  • 2篇段倩倩
  • 2篇张君慧
  • 2篇李大维

年份

  • 2篇2017
  • 2篇2015
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种非对称超级电容器制备方法
本发明涉及微机电系统技术领域，具体为一种非对称超级电容器制备方法，包括如下步骤：先准备两片相同的清洁烘干后的硅片基底，将其中一硅片基底的表面氧化形成二氧化硅绝缘层，并沉积一层金属钛，然后阳极氧化形成有序的TiO<Sub>...
李刚赵清华张文栋胡杰桑胜波马洋李朋伟菅傲群段倩倩
文献传递
基于SU‑8光刻胶的三维微电极制备方法
本发明涉及微机电系统（Micro Electro Mechanical System MEMS）技术领域，具体为基于SU‑8光刻胶的三维微电极制备方法，具体为：首先运用掺杂法在SU‑8光刻胶中掺杂纳米级的氯化铁颗粒，然后...
赵清华史健芳李刚郭丽芳李大维张君慧马洋淡富奎
文献传递
一种非对称超级电容器制备方法
本发明涉及微机电系统技术领域，具体为一种非对称超级电容器制备方法，包括如下步骤：先准备两片相同的清洁烘干后的硅片基底，将其中一硅片基底的表面氧化形成二氧化硅绝缘层，并沉积一层金属钛，然后阳极氧化形成有序的TiO<Sub>...
李刚赵清华张文栋胡杰桑胜波马洋李朋伟菅傲群段倩倩
基于SU-8光刻胶的三维微电极制备方法
本发明涉及微机电系统（Micro Electro Mechanical System MEMS）技术领域，具体为基于SU-8光刻胶的三维微电极制备方法，具体为：首先运用掺杂法在SU-8光刻胶中掺杂纳米级的氯化铁颗粒，然后...
赵清华史健芳李刚郭丽芳李大维张君慧马洋淡富奎
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