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徐振明
作品数:
5
被引量:10
H指数:2
供职机构:
清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
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相关领域:
电子电信
医药卫生
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合作作者
徐常胜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
周兆英
清华大学机械工程学院精密仪器与...
张晓
清华大学机械工程学院精密仪器与...
刘思行
清华大学机械工程学院精密仪器与...
贾惠波
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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年份
3篇
1996
1篇
1995
1篇
1994
共
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自动投影光刻中的暗场对准技术
被引量:3
1994年
暗场对准技术是利用光学暗场成像原理和微光真空光电探测技术,使投影光刻硅片上的标记获得大幅值、高信噪比的对准信号通过双池偏差优化软件,借助计算机进行采样控制和数据处理,从而获得很高的对准精度。对多种不同工艺硅片上的标记进行对准试验,精度达0.2μm(3σ)。该技术精度高,对硅片光刻工艺的适应性广,可用于大规模集成电路生产硅片光刻时的实际对准工作,使我国的投影光刻技术进入1μm特性线宽的实用阶段。
徐振明
贾惠波
齐国生
石宁
王燕
徐端颐
关键词:
投影光刻
集成电路
硅片
卡尔曼滤波在自动X线头影测量系统中的应用
被引量:1
1996年
本文针对自动X线头影测量系统中X线片的处理问题,提出了一种空间非均匀图像噪声去除的卡尔曼滤波方法.该方法将图像的边缘信息加入了滤波器输入,在进行滤波的同时可以有效地保持图像的边缘,并且可以避免由于图像模型参数的辨识而引起的计算上的负担.
徐常胜
周兆英
徐振明
刘思行
张晓
关键词:
卡尔曼滤波
X线头影测量
口腔正畸学
双池算法软件在对准偏差计算中的应用
1995年
提出了一种高精度的对准偏差算法─—双池算法。根据这种算法,将暗场对准系统中扫描采集的光电对准信号,通过求出整个扫描曲线的对称点以代替传统的极值点或阈值点,使重复对准精度达0.11μm(3σ)。文中对双池算法的原理、特点及数学表达式进行了详细的论述,并给出了实验结果。
徐振明
齐国生
贾惠波
徐常胜
关键词:
探测器
光刻机
X射线头影图象的自适应卡尔曼滤波方法研究
被引量:4
1996年
以口腔医学中X射线头影图象为背景,提出了一种基于输出相关法的有色噪声卡尔曼滤波方法,用来解决图象中有色观测噪声的滤波问题。该方法不增加滤波器的维数,而是改变系统的观测方程,使等效观测方程的测量噪声变为白噪声,再利用卡尔曼滤波方法进行滤波,大大降低了计算的复杂性。而且该方法不需要事先知道观测噪声的方差,从而弥补了传统卡尔曼滤波方法的不足,更加符合实际情况的需要。实验表明,用该方法对X射线头影图象进行处理后,可使图象的质量得到明显的改善。
徐常胜
孙新丁
周兆英
徐振明
徐振明
张晓
关键词:
卡尔曼滤波
自适应
口腔医学
边缘保持递归去噪算法及在图象处理中的应用
被引量:2
1996年
为了在图象处理时,既可以有效地去除噪声,又不会太多地破坏边缘,在一维卡尔曼滤波器的基础上,通过加入噪声图象边缘的结构信息,导出了一种简单的、可快速计算的边缘保持递归去噪算法。算法的主要思想是将与边缘大小和位置有关的信息从噪声图象中提取出来并将这些信息作为卡尔曼滤波器的控制输入,采用这种方法可以有效地降低图象边缘破坏的程度。对包含边缘信息和不含边缘信息的X线头影图象进行了处理,实验结果表明,加入边缘信息的卡尔曼滤波器的性能明显优于传统的卡尔曼滤波器,改进的滤波器在去除图象噪声的同时,可以有效地保持图象的边缘。
徐常胜
徐振明
周兆英
刘思行
关键词:
卡尔曼滤波
图象处理
噪声
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