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文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇医药卫生

主题

  • 3篇滤波
  • 3篇卡尔曼
  • 3篇卡尔曼滤波
  • 2篇口腔
  • 2篇光刻
  • 1篇递归
  • 1篇电路
  • 1篇噪声
  • 1篇正畸
  • 1篇正畸学
  • 1篇探测器
  • 1篇投影光刻
  • 1篇头影
  • 1篇头影测量
  • 1篇图象
  • 1篇图象处理
  • 1篇去噪
  • 1篇去噪算法
  • 1篇自适
  • 1篇自适应

机构

  • 5篇清华大学
  • 2篇北京大学口腔...

作者

  • 5篇徐振明
  • 4篇徐常胜
  • 3篇周兆英
  • 2篇齐国生
  • 2篇贾惠波
  • 2篇刘思行
  • 2篇张晓
  • 1篇徐端颐

传媒

  • 3篇清华大学学报...
  • 1篇模式识别与人...
  • 1篇光学学报

年份

  • 3篇1996
  • 1篇1995
  • 1篇1994
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
自动投影光刻中的暗场对准技术被引量:3
1994年
暗场对准技术是利用光学暗场成像原理和微光真空光电探测技术,使投影光刻硅片上的标记获得大幅值、高信噪比的对准信号通过双池偏差优化软件,借助计算机进行采样控制和数据处理,从而获得很高的对准精度。对多种不同工艺硅片上的标记进行对准试验,精度达0.2μm(3σ)。该技术精度高,对硅片光刻工艺的适应性广,可用于大规模集成电路生产硅片光刻时的实际对准工作,使我国的投影光刻技术进入1μm特性线宽的实用阶段。
徐振明贾惠波齐国生石宁王燕徐端颐
关键词:投影光刻集成电路硅片
卡尔曼滤波在自动X线头影测量系统中的应用被引量:1
1996年
本文针对自动X线头影测量系统中X线片的处理问题,提出了一种空间非均匀图像噪声去除的卡尔曼滤波方法.该方法将图像的边缘信息加入了滤波器输入,在进行滤波的同时可以有效地保持图像的边缘,并且可以避免由于图像模型参数的辨识而引起的计算上的负担.
徐常胜周兆英徐振明刘思行张晓
关键词:卡尔曼滤波X线头影测量口腔正畸学
双池算法软件在对准偏差计算中的应用
1995年
提出了一种高精度的对准偏差算法─—双池算法。根据这种算法,将暗场对准系统中扫描采集的光电对准信号,通过求出整个扫描曲线的对称点以代替传统的极值点或阈值点,使重复对准精度达0.11μm(3σ)。文中对双池算法的原理、特点及数学表达式进行了详细的论述,并给出了实验结果。
徐振明齐国生贾惠波徐常胜
关键词:探测器光刻机
X射线头影图象的自适应卡尔曼滤波方法研究被引量:4
1996年
以口腔医学中X射线头影图象为背景,提出了一种基于输出相关法的有色噪声卡尔曼滤波方法,用来解决图象中有色观测噪声的滤波问题。该方法不增加滤波器的维数,而是改变系统的观测方程,使等效观测方程的测量噪声变为白噪声,再利用卡尔曼滤波方法进行滤波,大大降低了计算的复杂性。而且该方法不需要事先知道观测噪声的方差,从而弥补了传统卡尔曼滤波方法的不足,更加符合实际情况的需要。实验表明,用该方法对X射线头影图象进行处理后,可使图象的质量得到明显的改善。
徐常胜孙新丁周兆英徐振明徐振明张晓
关键词:卡尔曼滤波自适应口腔医学
边缘保持递归去噪算法及在图象处理中的应用被引量:2
1996年
为了在图象处理时,既可以有效地去除噪声,又不会太多地破坏边缘,在一维卡尔曼滤波器的基础上,通过加入噪声图象边缘的结构信息,导出了一种简单的、可快速计算的边缘保持递归去噪算法。算法的主要思想是将与边缘大小和位置有关的信息从噪声图象中提取出来并将这些信息作为卡尔曼滤波器的控制输入,采用这种方法可以有效地降低图象边缘破坏的程度。对包含边缘信息和不含边缘信息的X线头影图象进行了处理,实验结果表明,加入边缘信息的卡尔曼滤波器的性能明显优于传统的卡尔曼滤波器,改进的滤波器在去除图象噪声的同时,可以有效地保持图象的边缘。
徐常胜徐振明周兆英刘思行
关键词:卡尔曼滤波图象处理噪声
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