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马燕飞

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：北京航空航天大学机械工程及自动化学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇结合力
  • 1篇类金刚石
  • 1篇薄膜应力
  • 1篇残余应力

机构

  • 1篇北京航空航天...

作者

  • 1篇马燕飞

传媒

  • 1篇化工管理

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
薄膜应力与类金刚石薄膜结合力改善的研究进展被引量：2
2014年
类金刚石(DLC)薄膜具有高硬度、低摩擦系数,高化学稳定性等优异性能,作为一种新兴功能材料受到诸多行业的关注。然而DLC生长过程会导致薄膜内部存在很高的残余应力,薄弱的膜基结合强度限制了其在工业上的广泛应用。本文简要介绍了国内外对于薄膜内应力的产生及其控制方面的研究进展,以及DLC膜基结合强度方面的研究现状和发展趋势。
马燕飞
关键词：残余应力结合力
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