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谢波

作品数：20 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 5篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 16篇感器
  • 16篇传感
  • 16篇传感器
  • 12篇压力传感器
  • 12篇力传感器
  • 6篇谐振器
  • 6篇谐振式压力传...
  • 4篇压阻
  • 4篇谐振
  • 3篇谐振式
  • 3篇金属
  • 3篇封装
  • 2篇地段
  • 2篇电极
  • 2篇电路
  • 2篇电容式
  • 2篇电容式压力
  • 2篇电容式压力传...
  • 2篇压力函数
  • 2篇压力灵敏度

机构

  • 20篇中国科学院电...
  • 2篇中国科学院大...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 20篇陈德勇
  • 20篇王军波
  • 20篇谢波
  • 6篇陈健
  • 4篇王艳双
  • 2篇李忆南
  • 1篇洪文
  • 1篇朱林

传媒

  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2022
  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 5篇2019
  • 5篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 3篇2015
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
SOI片过孔内金属焊盘的制作方法
本发明提供了一种MEMS圆片级真空封装中过孔焊盘的制作方法。该制作方法利用SOI基片内过孔的特殊结构，采用电化学腐蚀的方法制作过孔内的焊盘，有效解决了SOI片基底层背面金属的电气短路问题，具有成本低、适用于批量生产等优势...
王军波谢波陈德勇
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基于压阻检测的谐振式压力传感器及其制备方法
一种基于压阻检测的谐振式压力传感器及其制备方法，该谐振式压力传感器包括压力敏感膜、位于压力敏感膜上的谐振器和六个锚点，该谐振器包括双端固支梁和位于双端固支梁两侧的两个驱动电极，其中该双端固支梁包括两端部和连接至该两端部的...
陈德勇鲁毓岚王军波侍小青谢波
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谐振式压力传感器
本发明提供了一种谐振式压力传感器。该包括：传感器本体，在该传感器本体的底部形成压力敏感膜；在该压力敏感膜上形成有两谐振器‑第一谐振器和第二谐振器，其中，该两谐振器具有相同的固有频率，且两者对作用于压力敏感膜上的压力P的灵...
王军波谢波陈德勇王艳双
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SOI片过孔内金属焊盘的制作方法
本发明提供了一种MEMS圆片级真空封装中过孔焊盘的制作方法。该制作方法利用SOI基片内过孔的特殊结构，采用电化学腐蚀的方法制作过孔内的焊盘，有效解决了SOI片基底层背面金属的电气短路问题，具有成本低、适用于批量生产等优势...
王军波谢波陈德勇
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谐振式压力传感器
本发明提供了一种谐振式压力传感器。该包括：传感器本体，在该传感器本体的底部形成压力敏感膜；在该压力敏感膜上形成有两谐振器-第一谐振器和第二谐振器，其中，该两谐振器具有相同的固有频率，且两者对作用于压力敏感膜上的压力P的灵...
王军波谢波陈德勇王艳双
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自适应周期的频率测量系统与方法
一种自适应周期的频率测量系统与方法，包括频率测量接口、滤波与整形模块、信号测量模块、高稳温补晶振以及通信模块与接口。其中，频率测量接口用于输入被测信号；滤波与整形模块用于滤除测量范围外的干扰信号，并将滤除后的信号转化为方...
谢波王军波陈德勇陈健
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用于降低MEMS传感器应力的组装结构及制备方法
本公开提供一种用于降低MEMS传感器应力的组装结构及制备方法，该用于降低MEMS传感器应力的组装结构，包括：组装基台、金属引脚、柔性连接件以及MEMS传感器敏感芯体；组装基台沿其周向设置有N个金属引脚，N≥2；柔性连接件...
陈德勇鲁毓岚王军波谢波李亚东
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双谐振器压力传感器的温度自补偿方法和测量方式
本发明提供了一种双谐振器压力传感器的温度自补偿方法和测量方式。该温度自补偿方法包括：在预设温度范围内，选定m个温度标定点；在预设压力范围内，选定n个压力标定点；分别在每个温度标定点、每个压力标定点下测量两谐振器的频率，分...
王军波李忆南陈德勇谢波
差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性（英文）
2016年
谐振式压力微传感器因其高精度、高稳定性及准数字输出等特性而广泛应用于气压监测、航空航天等领域。相较于其他结构,差分谐振式具有灵敏度高、线性度好及温度漂移小等优势。然而,要获得差分谐振式压力微传感器的最优性能,仍需解决差分谐振梁灵敏度不匹配的问题。在仿真与实验的基础上,对差分谐振式压力微传感器的灵敏度匹配特性进行了相关研究。根据研究结果,对传感器的结构参数进行了优化设计。两谐振梁的设计灵敏度为±46 Hz/kP,实验结果显示中心梁的实际灵敏度为45Hz/kPa,边梁的实际灵敏度为-44Hz/kPa,差分输出的线性度高达0.999 999 9。
邢永豪谢波陈健陈德勇王军波
关键词：微机电系统谐振式压力传感器
LC谐振式传感器的检测电路及检测方法
本发明提供了一种LC谐振式传感器检测电路，包括：基于FPGA的SoPC系统、脉冲发生器、发射线圈、读取线圈、模数转换器，基于FPGA的SoPC系统控制脉冲发生器经发射线圈产生激励信号，LC谐振式传感器吸收激励信号的能量感...
王军波魏秋旭陈德勇谢波王艳双陈健
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