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徐军

作品数：1 被引量：9H指数：1
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇大连理工大学
  • 1篇中航工业北京...

作者

  • 1篇望咏林
  • 1篇董闯
  • 1篇温培刚
  • 1篇张定国
  • 1篇陆文琪
  • 1篇颜悦
  • 1篇伍建华
  • 1篇张官理
  • 1篇徐军

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
直流磁控溅射辉光等离子体的Langmuir静电探针诊断被引量：9
2008年
与大连理工大学合作研制了新型Langmuir静电探针。应用研制的静电探针,对氩气直流磁控溅射铜等离子体进行了轴向和径向二维空间内的诊断。诊断结果显示:电子温度随着离靶面距离增大而递减;电子密度在径向和轴向均存在波动;电子能量主要分布在0eV～5eV范围内,高能电子占比例极少。
温培刚颜悦望咏林伍建华张官理张定国陆文琪董闯徐军
关键词：直流磁控溅射等离子体
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