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罗雪
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4
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供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
邓启凌
中国科学院光电技术研究所
史立芳
中国科学院光电技术研究所
王佳舟
中国科学院光电技术研究所
庞辉
中国科学院光电技术研究所
曹阿秀
中国科学院光电技术研究所
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中国科学院
作者
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史立芳
4篇
邓启凌
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罗雪
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曹阿秀
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庞辉
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王佳舟
传媒
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光学学报
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2017
3篇
2015
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采用一次曝光制备连续面形螺旋相位板的方法
提供了一种制备连续面形螺旋位相板的方法。通过将三维目标面形在一维方向上按照一定的间隔进行抽样处理,进而将获得的样条按照比例平铺在抽样空间内,获得与目标面形对应的二维掩模结构图形;利用该掩模结构在抽样方向上进行一次曝光即可...
史立芳
曹阿秀
郭书基
罗雪
秦燕云
邓启凌
关键词:
光刻
微光学元件
一种适用于多波长的衍射光学元件设计方法
本发明公开了一种适用于多波长的衍射光学元件设计方法,1)确定衍射光学元件设计激光的波长和各波长激光对应的光场分布;2)确定各波长对应的目标图像和成像距离;3)确定衍射光学元件的整体尺寸和相位阶数;4)根据各波长对应的目标...
邓启凌
王佳舟
庞辉
史立芳
秦燕云
罗雪
文献传递
采用一次曝光制备连续面形螺旋相位板的方法
2015年
提供了一种制备连续面形螺旋位相板(SPP)的方法。通过将三维目标面形在一维方向上按照一定的间隔进行抽样处理,进而将获得的样条按照比例平铺在抽样空间内,获得与目标面形对应的二维掩模结构图形;利用该掩模结构在抽样方向上进行一次曝光即可获得目标面形。对该抽样方法、结构参数进行了分析,并且针对该方法开展了制备技术研究,制备出了4种电荷数分别为1,3,10和20的螺旋相位片,其适用波长为532nm,并对其光学效果进行了测试。
史立芳
曹阿秀
郭书基
罗雪
秦燕云
邓启凌
关键词:
光学制造
光刻
微光学元件
一种适用于多波长的衍射光学元件设计方法
本发明公开了一种适用于多波长的衍射光学元件设计方法,1)确定衍射光学元件设计激光的波长和各波长激光对应的光场分布;2)确定各波长对应的目标图像和成像距离;3)确定衍射光学元件的整体尺寸和相位阶数;4)根据各波长对应的目标...
邓启凌
王佳舟
庞辉
史立芳
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