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刘为森
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3
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复旦大学
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徐敏
复旦大学
王军华
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2015
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消杂光双光路光学定中仪
本发明属于光学装配技术领域,具体涉及一种消杂光双光路光学定中仪。本发明由光电探测器、自准直仪、起偏器、偏振分束器、检偏器、变焦望远镜和计算机平台等组成;偏振分束器将自准直仪提供的平行光分为反射S光和透射P光;S光经过检偏...
刘为森
徐敏
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消杂光双光路光学定中仪
本实用新型属于光学装配技术领域,具体涉及一种消杂光双光路光学定中仪。本实用新型由光电探测器、自准直仪、起偏器、偏振分束器、检偏器、变焦望远镜和计算机平台等组成;偏振分束器将自准直仪提供的平行光分为反射S光和透射P光;S光...
刘为森
徐敏
王军华
文献传递
双光路光学定中系统设计及误差分析
近年来精密光学系统,如投影光刻机物镜、航测镜头、望远镜等,对镜头成像质量的要求越来越高。而光学系统的中心偏指镜片的光轴与参考轴之间的偏差,是需要着重控制的关键装配参量。中心偏破坏了光学系统的共轴性,会引起成像彗差、像散及...
刘为森
徐敏
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