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朱恒伟
作品数:
7
被引量:2
H指数:1
供职机构:
浙江大学
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相关领域:
电子电信
文化科学
化学工程
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合作作者
吕建国
浙江大学材料与化学工程学院
吕斌
浙江大学材料与化学工程学院
赵文文
浙江大学
孙汝杰
浙江大学
陈伟芳
浙江大学
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朱恒伟
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一种高精度测量临近空间大气密度的方法及测量装置
本发明公开了一种高精度测量临近空间大气密度的方法及测量装置。根据圆球以高超声速飞行的再入运动方程,通过高精度计算或高精度测量获得方程其他参数的精确值,从而推算出高精度的大气密度。利用这种方法,可以在飞行器发射前按照需要的...
陈伟芳
吴昌聚
赵文文
朱恒伟
文献传递
一种在玻璃基底上沉积二氧化硅薄膜的方法
本发明涉及化学气相沉积法领域,具体涉及一种在玻璃基底上二氧化硅薄膜的低压化学气相法(LPCVD)沉积。本发明在CVD沉积过程中,将硅源和氧气分开通入反应腔,先利用硅源在玻璃基底上沉积一层硅膜,然后再利用氧气将硅膜氧化从而...
吕斌
李文杰
朱恒伟
吕建国
文献传递
PECVD法玻璃容器内壁沉积SiO_2薄膜的SEM表征
被引量:2
2015年
采用自主研制的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)专用设备,在玻璃容器内壁沉积SiO2薄膜,用作阻隔涂层。通过设计沉积工艺,在不同的气体流量比例、工作气压和生长时间等生长条件下制备出SiO2薄膜;通过扫描电子显微镜(SEM)测试表征薄膜的形貌和结构,评价薄膜的性能。根据表征结果分析了各种工艺参数对薄膜性能的影响,获得了较为优化的工艺参数,在玻璃容器内壁制备出较高质量的SiO2薄膜。
朱恒伟
李文杰
张金云
叶欢
陈国安
吕斌
吕建国
关键词:
PECVD
玻璃容器
SIO2薄膜
一种高精度测量临近空间大气密度的方法及测量装置
本发明公开了一种高精度测量临近空间大气密度的方法及测量装置。根据圆球以高超声速飞行的再入运动方程,通过高精度计算或高精度测量获得方程其他参数的精确值,从而推算出高精度的大气密度。利用这种方法,可以在飞行器发射前按照需要的...
陈伟芳
吴昌聚
赵文文
朱恒伟
一种紫外探测器及其制备方法
本发明公开了一种紫外探测器及其制备方法,以及一种用作紫外探测器光激活层的非晶氧化物薄膜。该紫外探测器包含衬底、光激活层及一对电极,且光激活层为非晶氧化物薄膜,该非晶氧化物薄膜的化学式为Zn<Sub>4</Sub>Al<S...
吕建国
江庆军
孙汝杰
冯丽莎
朱恒伟
玻璃容器内壁沉积SiO2薄膜的PECVD设备研制与工艺研究
玻璃最常见的用途之一是制造成容器用于盛放溶液,比如液体药剂、饮料、液体试剂等等。玻璃中含有大量的金属离子,在长期的存放和使用过程中,金属离子会从玻璃容器中析出到盛放的溶液中,从而造成污染。为了防止金属离子析出造成的污染,...
朱恒伟
关键词:
玻璃容器
二氧化硅薄膜
文献传递
一种紫外探测器及其制备方法
本发明公开了一种紫外探测器及其制备方法,以及一种用作紫外探测器光激活层的非晶氧化物薄膜。该紫外探测器包含衬底、光激活层及一对电极,且光激活层为非晶氧化物薄膜,该非晶氧化物薄膜的化学式为Zn<Sub>4</Sub>Al<S...
吕建国
江庆军
孙汝杰
冯丽莎
朱恒伟
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