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陆倩倩

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：南京信息工程大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇电场传感器
  • 2篇微机械
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇电极
  • 1篇电路
  • 1篇支撑梁
  • 1篇专用集成电路
  • 1篇力平衡式
  • 1篇锚点
  • 1篇结构层
  • 1篇集成电路
  • 1篇溅射
  • 1篇传感器性能

机构

  • 2篇南京信息工程...

作者

  • 2篇孟瑞丽
  • 2篇刘恒
  • 2篇张宏群
  • 2篇陆倩倩
  • 1篇孙冬娇
  • 1篇李敏
  • 1篇倪波

年份

  • 2篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种微机械振动式电场传感器
本实用新型公开了一种微机械振动式电场传感器，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层、溅射在玻璃基座上的金电极层；所述结构层包括第一至第十锚点区、第一至第四支撑梁、质量块、第一至第四固定驱动电容极板、第一力放大杠杆、第二力...
孟瑞丽陆倩倩刘恒张宏群孙冬娇
文献传递
一种力平衡式微机械电场传感器
本实用新型公开了一种力平衡式微机械电场传感器，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层、溅射在玻璃基座上的金电极层；所述结构层包括第一支撑基座、第二支撑基座、质量块、第一至第四折叠梁，所述金电极层包括第一长方形电极、第二长...
孟瑞丽陆倩倩刘恒张宏群倪波李敏
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