陆峰
- 作品数：4 被引量：5H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程金属学及工艺更多>>
- 半导体材料倒角边缘磨削用金刚石砂轮的组成及研究
- 2016年
- 在半导体晶圆的加工工艺中,用砂轮进行边缘磨削是非常重要的一环。包括滚圆磨削、倒角边缘磨削等。本文主要研究的是倒角边缘磨削用的金刚石砂轮。倒角用金刚石砂轮由基体、磨料和结合剂经一定的制造工艺加工而成。决定砂轮磨削性能的因素有:磨料种类、结合剂类型、粒度、硬度、集中度、组织等。砂轮的制造工艺有烧结砂轮和电镀砂轮。
- 陆峰康洪亮张伟才李聪陶术鹤
- 关键词：磨料结合剂
- 硅片背面软损伤工艺技术研究被引量：2
- 2013年
- 硅中的金属离子杂质会明显降低少子寿命,并进一步影响硅器件的性能。因此对硅片背面喷砂工艺进行了系统的研究。通过喷砂工艺,在硅片背面形成软损伤层,使硅片具有了吸杂能力,并从吸杂机理出发,解决了吸杂工艺带来的硅抛光片表面颗粒效应,并对硅抛光片的吸杂效果及表面颗粒度进行了表征,为具有吸杂性能的"开盒即用"硅抛光片的批量化生产提供了有力的技术保证。
- 武永超赵权陆峰佟丽英
- 关键词：金属
- 表面活性剂在P型锗片磨削工艺中的应用被引量：3
- 2010年
- 由于锗材料具有优良的抗辐射性能,在航天领域获得了新的应用。在锗单晶片的磨削过程中,砂轮磨损产生的颗粒以及磨削下来的锗屑容易将砂轮阻塞,从而对锗单晶片表面的磨削纹路产生影响。通过试验,在去离子水管路上增加一条表面活性剂管路,可有效减少砂轮阻塞现象,降低砂轮修整的频率,提高了锗磨削片的表面质量。
- 陆峰杨洪星刘春香赵权
- 关键词：表面活性剂锗
- 高温快速热处理(RTP)工艺对硅片电学性能的影响
- 2017年
- 半导体硅在高温快速热处理(rapid thermal processing,RTP)工艺中杂质和缺陷行为的研究成为目前硅材料研究的新热点。本文简单介绍RTP工艺的原理及优缺点,并对直拉硅和区熔硅片的电学性能的影响因素就行了研究。
- 陆峰
- 关键词：直拉硅载流子浓度
