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严如岳

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：天津电子材料研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电学
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇肖特基
  • 1篇肖特基结
  • 1篇溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇天津电子材料...

作者

  • 1篇华庆恒
  • 1篇严如岳

传媒

  • 1篇固体电子学研...

年份

  • 1篇1990
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
直流磁控溅射TiN/GaAs肖特基结的电学特性研究
1990年
本文研究了经直流磁控溅射制备的TiN/GaAs肖特基结的电学特性.给出了不同退火温度下I-V,C-V测量结果及TiN/GaAs与Au/GaAs,Ti/GaAs,Al/GaAs接触特性的比较.应用AES与XPS进行肖特基结的表面和界面剖析,发现退火过程中TiN膜的氧化,N在TiN膜中的再分布及TiN-GaAs接触界面上的化学重组对肖特基结的接触特性有重要影响.
华庆恒严如岳李岩松陈古川张菀刘咏梅杨媛琪
关键词：直流磁控溅射肖特基结
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