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陈文彦
作品数:
1
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供职机构:
中国航空精密机械研究所
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相关领域:
机械工程
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合作作者
张绍宗
中国航空精密机械研究所
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作者
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张绍宗
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陈文彦
传媒
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光学工程
年份
1篇
1989
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炫耀光栅位移测量系统的精度试验
1989年
炫耀光栅位移测量系统采用尤学倍增与电子细分相結合的方法,使系统的分辨率达到0.4微米。与金属线纹尺比较测量,系统在300毫米内的极限误差为1.5微米。试验证明炫耀光栅位移测量系统具有较高的精度,如能进一步提高标尺光栅的刻划精度,并相应地提高分辨率,系统的实际精度还可以提高。
张绍宗
陈文彦
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仪器
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