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严如岳
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1
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中华人民共和国信息产业部
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任殿胜
中华人民共和国信息产业部
李雨辰
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严如岳
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任殿胜
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1999
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GaAs材料表面钝化技术
砷化镓(GaAs)具有高的电子迁移率和禁带宽度,是微波、毫米波器件更为理想的材料。但由于GaAs是二元体系,缺陷模式很复杂,表面氧化膜也有Ga2O3、As2O3、As2O3等多种成份,因此表面态密度极高,使表面费米能级钉...
任殿胜
严如岳
李雨辰
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表面钝化
砷化镓
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