宗杰
- 作品数：2 被引量：17H指数：2
- 供职机构：天津津航技术物理研究所更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 光学膜厚监控方法被引量：7
- 2008年
- 光学膜厚监控方法是光学镀膜过程中用以控制光学薄膜光学厚度的主要方法,也是实现镀膜自动化的关键技术之一。了解光学膜厚监控方法的工作原理、特点及误差来源,有助于在实际应用中根据所镀产品的要求选择合适的光学监控方法及监控参数。文中针对最常用的两种光学膜厚监控方法—单波长法和宽光谱法,分别介绍其工作原理,给出了单波长下根据薄膜的透射率或反射率推算膜层厚度的计算方法以及宽光谱法所常用的3种评价函数,总结出影响单波长法测量的8种因素和宽光谱法的11种因素,并根据这些因素分析了这两种方法的特点和适用范围。
- 殷浩应雄纯宗杰
- 关键词：膜厚监控光学薄膜
- 光学薄膜的损耗测试与分析被引量：10
- 2008年
- 随着激光基准系统和高精度激光测量系统的发展和应用,推动了超低损耗薄膜技术的发展,进一步控制损耗各分量的大小和分布,需要对光学薄膜总损耗进行测试分析。采用DIBS镀膜工艺在超光滑基底上镀制了高反膜和减反膜,给出了镀膜的工艺方法及工艺参数。通过分析时间衰减法测试总损耗的原理,分别采用时间衰减法和频率扫描法测试了光学薄膜的总损耗,在632.8nm波长点的测试结果为:高反膜层吸收为19.6×10-6,反射率达到99.99686%;减反膜层总损耗为78×10-6。最后对光学薄膜总损耗的构成和工艺改进进行了探讨。
- 季一勤崔玉平刘华松宗杰宋洪君洪伟姜福灏孙赤权
- 关键词：高反膜减反膜
