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徐娜

作品数：2 被引量：9H指数：1
供职机构：天津理工大学更多>>
发文基金：天津市自然科学基金天津市教委基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇ALN薄膜
  • 1篇氮化铝
  • 1篇氮化铝薄膜
  • 1篇多层膜
  • 1篇多层膜结构
  • 1篇射频
  • 1篇射频磁控
  • 1篇声表面波
  • 1篇声表面波滤波...
  • 1篇滤波器
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇硅衬底
  • 1篇SAW器件
  • 1篇氮
  • 1篇衬底
  • 1篇磁控
  • 1篇F

机构

  • 2篇天津理工大学

作者

  • 2篇徐娜
  • 1篇李化鹏
  • 1篇杨保和
  • 1篇薛玉明
  • 1篇陈希明

传媒

  • 1篇光电子．激光

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
射频磁控溅射生长C轴择优取向AlN压电薄膜被引量：9
2007年
采用射频磁控反应溅射工艺,在Si(400)衬底上制备了高c轴取向的AlN薄膜。用X射线衍射仪(XRD)分析了薄膜特征。研究了不同的Ar/N2比、衬底偏压、工作压强对AlN薄膜c轴择优取向的影响。研究了AlN薄膜在以氮终止的硅衬底和纯净硅衬底两种表面状态的生长机制,发现在以氮终止的硅衬底表面生长的AlN薄膜非常容易得到c轴择优取向的AlN薄膜。
杨保和徐娜陈希明薛玉明李化鹏
关键词：ALN薄膜
适用于多层膜高频SAW器件的AlN薄膜制备与表征
金刚石具有所有物质中最高的弹性模量(E=1200Gpa)，材料密度较低(ρ=3.51g/cm<'3>)纵波声速在所有物质中最高，可达到18000m/s，由于其优良的物理特性，金刚石薄膜得到了广泛的应用，声表面波(SAW)...
徐娜
关键词：声表面波滤波器金刚石薄膜氮化铝薄膜多层膜结构
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