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胡幼华
胡幼华
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
上海市计算技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
何延才
中国科学院上海硅酸盐研究所
王心磊
中国科学院上海硅酸盐研究所
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何延才
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中国科学(A...
年份
1篇
1989
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Monte Carlo方法计算多层薄膜中X射线发射强度
被引量:1
1989年
基于作者发展的电子散射模型,多层介质中电子散射理论、X射线强度、吸收和荧光计算公式,用Monte Carlo方法计算了多层薄膜中X射线发射强度比值。在不同加速电压下,对Si衬底上Au,Cu多层膜及Cr,Ni多层膜计算的强度比与EPMA实验结果广泛一致。本工作为最终解决多层薄膜X射线定量显微分析的难题奠定了理论基础。
何延才
胡幼华
陈家光
王心磊
关键词:
X射线
蒙特卡罗法
多层薄膜厚度的蒙特卡罗计算方法和软件
胡幼华
多层薄膜厚度测定是国际上电子束X射线显微定量分析中极待解决的难题。该项目用蒙特卡罗方法研究电子束入射到多层薄膜时电子散射和特征、X射线激薄等复杂的随机过程,解决了多层薄膜的电子束X射线显微定量分析中的一系列计算难题,提出...
关键词:
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蒙特卡罗
计算方法
厚度
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