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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇体硅
  • 1篇晶体硅
  • 1篇分析方法

机构

  • 1篇昆明冶研新材...

作者

  • 1篇金波
  • 1篇毛智慧
  • 1篇赵建为
  • 1篇周文韬
  • 1篇田琦

传媒

  • 1篇化学分析计量

年份

  • 1篇2015
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
晶体硅材料中杂质元素分析方法研究进展被引量:4
2015年
综述了晶体硅材料中杂质元素含量测定的分析方法研究进展。晶体硅材料中杂质元素的分析方法主要包括红外吸收法、二次离子质谱法、中子活化分析法、辉光放电质谱法、电感耦合等离子体质谱法、X射线光谱分析及其它分析方法,引用文献41篇。
毛智慧周文韬田琦赵建为金波
关键词:晶体硅分析方法
共1页<1>
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