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田琦
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
昆明冶研新材料股份有限公司
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相关领域:
理学
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合作作者
周文韬
昆明冶研新材料股份有限公司
赵建为
昆明冶研新材料股份有限公司
毛智慧
昆明冶研新材料股份有限公司
金波
昆明冶研新材料股份有限公司
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田琦
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1篇
2015
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晶体硅材料中杂质元素分析方法研究进展
被引量:4
2015年
综述了晶体硅材料中杂质元素含量测定的分析方法研究进展。晶体硅材料中杂质元素的分析方法主要包括红外吸收法、二次离子质谱法、中子活化分析法、辉光放电质谱法、电感耦合等离子体质谱法、X射线光谱分析及其它分析方法,引用文献41篇。
毛智慧
周文韬
田琦
赵建为
金波
关键词:
晶体硅
分析方法
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