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陈志凌

作品数:11 被引量:6H指数:1
供职机构:华中科技大学更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 10篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇激光
  • 3篇微加工
  • 3篇微制造
  • 3篇接线
  • 3篇接线柱
  • 3篇活动盖
  • 3篇活动盖板
  • 3篇激光窗口
  • 3篇激光化学
  • 3篇光化学
  • 3篇衬里
  • 2篇电解质溶液
  • 2篇电路
  • 2篇电路工艺
  • 2篇叠层
  • 2篇镀铬
  • 2篇压模
  • 2篇印章
  • 2篇硬质
  • 2篇硬质合金

机构

  • 11篇华中科技大学

作者

  • 11篇陈志凌
  • 9篇史铁林
  • 6篇熊良才
  • 5篇周月豪
  • 3篇汤自荣
  • 3篇刘世元
  • 3篇刘胜
  • 3篇黄光
  • 3篇李晓平
  • 2篇张鸿海
  • 2篇胡晓峰
  • 2篇陈建军
  • 2篇贺德建
  • 2篇王志勇
  • 2篇马斌
  • 2篇汪学方
  • 2篇柳海鹏
  • 2篇马龙
  • 1篇廖广兰

传媒

  • 1篇激光与光电子...

年份

  • 1篇2011
  • 2篇2009
  • 2篇2006
  • 1篇2005
  • 5篇2004
11 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
多用途激光电化学微制造装置
本发明公开了一种多用途激光电化学微制造装置,其结构为:可更换的衬里位于外壳内,外壳上设有可活动盖板,盖板上设有电源正、负接线柱、进气口、排气口和可更换的激光窗口,电极支架相互垂直,并分别通过二组固定在盖板上的调节丝杆和调...
史铁林熊良才陈志凌周月豪
文献传递
一种硬质合金冲压模具的制作方法
一种硬质合金冲压模具的制作方法,属于冲压模具的精细加工方法,克服现有技术在硬质合金表面制作模具条纹尺寸太大的问题,提高目前贵重金属货币、印章和其它通过冲压形成图纹的产品的防伪能力。本发明包括涂胶步骤,曝光步骤,显影步骤,...
李晓平史铁林陈建军汤自荣黄光陈志凌刘世元
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准分子激光电化学微结构制造方法及其装置
本发明属于微制造领域,针对传统方法缺点,把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法,步骤为:(1)首先制备显微探针阵列;(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间,产生负压,注入保护气体...
史铁林陈志凌熊良才柳海鹏周月豪马龙
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激光电化学微制造装置
本发明公开了一种激光电化学微制造装置,其结构为:可更换的衬里位于外壳内,外壳上设有可活动盖板,盖板上设有电源正、负接线柱、进气口、排气口和可更换的激光窗口,第一、第二电极支架相互垂直,并分别通过二组固定在盖板上的调节丝杆...
史铁林熊良才陈志凌周月豪
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与集成电路工艺兼容的三维微结构模压刻蚀方法
本发明公开了一种与集成电路工艺兼容的三维微结构模压刻蚀方法。该方法是利用叠层原理制造具有任意曲面的三维模压刻蚀模具,然后将该三维模具对衬底上的软质材料层进行模压刻蚀,得到微系统的三维结构。该方法的关键技术三维模具的制造,...
王志勇刘胜张鸿海贺德建胡晓峰汪学方陈志凌马斌
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准分子激光微制造技术及其应用被引量:6
2004年
比较分析四种微加工工艺的基本特征和技术难点,简述准分子激光与Nd∶YAG激光微制造技术的特点和应用范围。结合华中科技大学准分子激光微制造工作站的建设及其在微钻孔、微切割等方面的实际应用,分析准分子激光在MEMS(微机电系统)键合、焊接、封装过程中应用的可能性。
陈志凌史铁林刘胜熊良才
关键词:准分子激光微加工工艺MEMS封装ND:YAG激光微切割
多用途激光电化学微制造装置
本实用新型公开了一种多用途激光电化学微制造装置,其结构为:可更换的衬里位于外壳内,外壳上设有可活动盖板,盖板上设有电源正、负接线柱、进气口、排气口和可更换的激光窗口,电极支架相互垂直,并分别通过二组固定在盖板上的调节丝杆...
史铁林熊良才陈志凌周月豪
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一种硬质合金冲压模具的制作方法
一种硬质合金冲压模具的制作方法,属于冲压模具的精细加工方法,克服现有技术在硬质合金表面制作模具条纹尺寸太大的问题,提高目前贵重金属货币、印章和其它通过冲压形成图纹的产品的防伪能力。本发明包括涂胶步骤,曝光步骤,显影步骤,...
李晓平史铁林陈建军汤自荣黄光陈志凌刘世元
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准分子激光电化学微结构制造方法及其装置
本发明属于微制造领域,针对传统方法缺点,把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法,步骤为:(1)首先制备显微探针阵列;(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间,产生负压,注入保护气体...
史铁林陈志凌熊良才柳海鹏周月豪马龙
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亚波长金属光栅偏振器
亚波长金属光栅偏振器,属于光学偏振器件,具体涉及一种线栅偏振器,克服现有同类器件透过率和消光比不高的问题。本发明在基底上具有金属条纹光栅,金属条纹光栅表面具有保护层,基底与金属条纹光栅连接的界面具有多层介质膜层,基底另一...
李晓平史铁林刘世元廖广兰汤自荣黄光陈志凌
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共2页<12>
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