刘璐宁
- 作品数：8 被引量：9H指数：2
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- 一种可调谐宽波段激光等离子体极紫外光源
- 本发明公开了一种可调谐宽波段激光等离子体极紫外光源。包括脉冲激光器以及设置在真空腔中的反射镜、聚焦透镜、镓铟锡合金靶材和收集镜；工作时，所述脉冲激光器发出的激光被所述反射镜反射后到达所述聚焦透镜，在所述镓铟锡合金靶材的液...
- 刘璐宁王新兵左都罗陆培祥
- 文献传递
- 用于激光脉冲整形的等离子体开关
- 本实用新型公开了一种用于激光脉冲整形的等离子体开关，该等离子体开关的背景气体中混有易电离的气体，并使气体能够处于不断流动的状态，开关中还放置有冷却装置。易电离的气体可以为三乙胺。开关的具体结构包括真空腔，以及位于真空腔内...
- 刘璐宁王新兵卢宏左都罗陆培祥
- 文献传递
- 铋、铅及其合金激光等离子体软X射线与极紫外辐射特性的研究
- 软X射线（softX-ray,SXR）与极紫外（extremeultraviolet,EUV）辐射凭其短波长不仅能直接应用于解析物质的原子结构，从而有力推动基础物理和材料科学的深入发展，在生物医学显微成像、高精度光刻和时...
- 刘璐宁
- 关键词：激光等离子体软X射线
- 用于激光脉冲整形的等离子体开关
- 本发明公开了一种用于激光脉冲整形的等离子体开关，该等离子体开关的背景气体中混有易电离的气体，并使气体能够处于不断流动的状态，开关中还放置有冷却装置。易电离的气体可以为三乙胺。开关的具体结构包括真空腔，以及位于真空腔内的第...
- 刘璐宁王新兵卢宏左都罗陆培祥
- 文献传递
- 脉冲CO_2激光烧蚀锡靶等离子体的数值模拟被引量：3
- 2016年
- 使用一维辐射流体力学程序MULTI模拟了脉冲CO2激光烧蚀平面锡靶的过程,研究了脉冲宽度、峰值功率密度、靶材初始密度对锡等离子体电子密度、电子温度的时空分布的影响,并结合统计分析得到最有利于产生13.5nm极紫外光的激光脉冲宽度。模拟结果表明,脉冲宽度为100-200ns的长脉冲激光产生的等离子体有利于实现极紫外输出的最佳条件,通过分析等离子体的电子密度、电子温度的分布对这一结论进行了解释。临界电子密度区域有效吸收了脉冲能量,而低密度的羽辉对激光与极紫外辐射的吸收很少。采用长脉冲激光,使得辐射极紫外等离子体持续时间更长,是提高极紫外辐射效率的有效手段。同时模拟还发现,靶材初始密度对等离子体参数的影响不大。
- 姚黎为王新兵刘璐宁左都罗
- 关键词：CO2激光等离子体极紫外脉冲宽度
- 脉冲激光辐照液滴锡靶等离子体极紫外辐射的实验研究被引量：6
- 2015年
- 采用波长13.5 nm的极紫外光作为曝光光源的极紫外光刻技术是最有潜力的下一代光刻技术之一,它是半导体制造实现10 nm及以下节点的关键技术.获得极紫外辐射的方法中,激光等离子体光源凭借转换效率高、收集角度大、碎屑产量低等优点而被认为是最有前途的极紫外光源.本文开展了脉冲TEA-CO2激光和Nd:YAG激光辐照液滴锡靶产生极紫外辐射的实验,对极紫外辐射的谱线结构以及辐射的时空分布特性进行了研究.实验发现:与TEA-CO2激光相比,较高功率密度的Nd:YAG激光激发的极紫外辐射谱存在明显的蓝移;并且激光等离子体光源可以认为是点状光源,其极紫外辐射强度随空间角度变化近似满足Lambertian分布.
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- 关键词：激光等离子体
- 一种可调谐宽波段激光等离子体极紫外光源
- 本发明公开了一种可调谐宽波段激光等离子体极紫外光源。包括脉冲激光器以及设置在真空腔中的反射镜、聚焦透镜、镓铟锡合金靶材和收集镜；工作时，所述脉冲激光器发出的激光被所述反射镜反射后到达所述聚焦透镜，在所述镓铟锡合金靶材的液...
- 刘璐宁王新兵左都罗陆培祥
- 用于激光脉冲整形的等离子体开关
- 本发明公开了一种用于激光脉冲整形的等离子体开关，该等离子体开关的背景气体中混有易电离的气体，并使气体能够处于不断流动的状态，开关中还放置有冷却装置。易电离的气体可以为三乙胺。开关的具体结构包括真空腔，以及位于真空腔内的第...
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