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陈刚
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3
被引量:4
H指数:1
供职机构:
浙江巨化股份有限公司
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相关领域:
化学工程
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合作作者
叶向荣
浙江师范大学
叶素芳
浙江巨化股份有限公司
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叶向荣
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电子气体净化器现状与趋势
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2015年
电子气体净化器是对电子气体进行在线净化,使主要杂质含量由10-6级降低到10-9、10-12级的关键纯化装置。与电子气体一样,同属我国亟待发展的战略资源与关键技术。从技术和市场角度,对电子气体净化器国内外现状和发展做总体性概括、介绍和展望。
叶向荣
陈刚
周黎旸
关键词:
净化器
电子气体
痕量杂质
一种用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂及其制备方法
本发明公开了一种用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂,由多孔载体和负载于多孔载体上的脱氟活性组分组成,脱氟活性组分在多孔载体孔道内部和外表面以0.1nm–5μm的颗粒、薄层形式存在,脱氟活性组分与多孔载体的质量比为0...
叶向荣
陈刚
周黎旸
叶素芳
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一种用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂及其制备方法
本发明公开了一种用于去除氯化氢气体中氟化氢的负载型脱氟剂,由多孔载体和负载于多孔载体上的脱氟活性组分组成,脱氟活性组分在多孔载体孔道内部和外表面以0.1nm–5μm的颗粒、薄层形式存在,脱氟活性组分与多孔载体的质量比为0...
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陈刚
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