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戴宜全

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：武汉大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇中文专利

主题

  • 6篇光刻
  • 6篇光刻机
  • 5篇光栅
  • 4篇测量系统
  • 2篇夜尿
  • 2篇散斑
  • 2篇同步测量
  • 2篇同频
  • 2篇投影镜头
  • 2篇尿袋
  • 2篇无线
  • 2篇无线供电
  • 2篇小便
  • 2篇精密机床
  • 2篇机床
  • 2篇激光
  • 2篇激光干涉
  • 2篇集成控制
  • 2篇集成控制器
  • 2篇供电

机构

  • 9篇武汉大学

作者

  • 9篇刘胜
  • 9篇戴宜全
  • 7篇雷金
  • 7篇桂成群
  • 2篇陈斌
  • 2篇张晓
  • 2篇付兴铭
  • 2篇王小平
  • 2篇赵培林

年份

  • 3篇2018
  • 4篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
一种基于光栅多级衍射同步干涉实现多分辨率、多自由度干涉测量的系统及方法
本发明公开了一种基于光栅多级衍射同步干涉实现多分辨率、多自由度干涉测量的系统及方法。创造性的提出了一种集成屏替代通常云纹干涉测量中的读数栅，实现了多级次衍射光的干涉实现和利用（限于激光功率较低、读数光栅固定的衍射角度限制...
戴宜全桂成群刘胜雷金
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一种基于波带片的六维高精度快速对准、测量系统
本发明公开了一种基于波带片的六维高精度快速对准、测量系统，可以实现快速高精度空间复位对准和测量。六维高精度对准实际上是空间姿态定位，其难点在于同时同步测量六个自由度存在很大的困难。例如，目前荷兰ASML最新一代光刻机其专...
戴宜全桂成群刘胜雷金
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一种适合于光刻机复位用的对准方法及装置
本发明公开了一种适合于光刻机复位用的对准装置及方法，可以实现快速高精度复位对准。目前荷兰ASML最新一代光刻机其专利所采用的是两块同型二维光栅进行对准。本发明则提供另一种采用同型两块散斑玻片替代光栅的方案，一样可以达到高...
戴宜全桂成群刘胜雷金
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一种适合于大幅面运动规划的高精、高速运动测量系统
本发明公开了一种适合于大幅面运动规划的高精、高速运动测量系统，借助该系统可以实现高达亚纳米级的二维位移测量精度，特别适合于诸如光刻机、光栅刻划机、液晶面板加工机、精密机床等高端设备中运动控制所必须的反馈测量。具体为将不同...
戴宜全桂成群刘胜雷金
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一种适合于光刻机复位用的对准方法及装置
本发明公开了一种适合于光刻机复位用的对准装置及方法，可以实现快速高精度复位对准。目前荷兰ASML最新一代光刻机其专利所采用的是两块同型二维光栅进行对准。本发明则提供另一种采用同型两块散斑玻片替代光栅的方案，一样可以达到高...
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一种适合于大幅面运动规划的高精、高速运动测量系统
本发明公开了一种适合于大幅面运动规划的高精、高速运动测量系统，借助该系统可以实现高达亚纳米级的二维位移测量精度，特别适合于诸如光刻机、光栅刻划机、液晶面板加工机、精密机床等高端设备中运动控制所必须的反馈测量。具体为将不同...
戴宜全桂成群刘胜雷金
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一种可穿戴辅助小便卫生装置及健康服务系统
本发明公开了一种可穿戴辅助小便卫生装置及健康服务系统。包括特制内裤、尿斗、抽吸装置、湿度传感器、导尿管、尿袋、集成控制器、健康信息中心组成，可采用便携电池或移动电源、充电宝或有线/无线供电等多种方式，尤其适合于飞行员、尿...
刘胜戴宜全杨楚琳陈斌张晓赵培林付兴铭王小平
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一种基于波带片的六维高精度快速对准、测量系统
本发明公开了一种基于波带片的六维高精度快速对准、测量系统，可以实现快速高精度空间复位对准和测量。六维高精度对准实际上是空间姿态定位，其难点在于同时同步测量六个自由度存在很大的困难。例如，目前荷兰ASML最新一代光刻机其专...
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一种可穿戴辅助小便卫生装置及健康服务系统
本发明公开了一种可穿戴辅助小便卫生装置及健康服务系统。包括特制内裤、尿斗、抽吸装置、湿度传感器、导尿管、尿袋、集成控制器、健康信息中心组成，可采用便携电池或移动电源、充电宝或有线/无线供电等多种方式，尤其适合于飞行员、尿...
刘胜戴宜全杨楚琳陈斌张晓赵培林付兴铭王小平
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