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朱昊
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北京大学
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合作作者
黄芊芊
北京大学
吴春蕾
北京大学
黄如
北京大学
王佳鑫
北京大学
王阳元
北京大学
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机构
11篇
北京大学
作者
11篇
黄如
11篇
吴春蕾
11篇
黄芊芊
11篇
朱昊
7篇
王阳元
7篇
王佳鑫
4篇
赵阳
4篇
廖怀林
4篇
叶乐
年份
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2017
4篇
2015
2篇
2014
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基于深N阱工艺隔离隧穿场效应晶体管的制备方法
本发明公开了一种基于深N阱工艺来隔离隧穿场效应晶体管的制备方法,属于CMOS超大集成电路(ULSI)中的场效应晶体管逻辑器件与电路领域。该方法有效利用了标准CMOS IC工艺中现有的工艺,采用深N阱以及STI区注入N阱的...
黄如
黄芊芊
廖怀林
叶乐
吴春蕾
朱昊
王阳元
文献传递
一种嵌入层异质结隧穿场效应晶体管及其制备方法
本发明公开一种嵌入层异质结隧穿场效应晶体管及其制备方法,属于CMOS超大规模集成电路(ULSI)中场效应晶体管逻辑器件领域。该嵌入层异质结隧穿场效应晶体管的垂直沟道区的两侧分别设有控制栅,该控制栅为L型结构,两个控制栅与...
黄如
吴春蕾
黄芊芊
王佳鑫
朱昊
王阳元
文献传递
一种双层石墨烯隧穿场效应晶体管及其制备方法
一种双层石墨烯隧穿场效应晶体管,底栅介质层位于底栅电极的上方,双层石墨烯有源区位于底栅介质层的上方,金属源电极和金属漏电极分别在双层石墨烯有源区的两端,且各覆盖部分双层石墨烯有源区,金属源电极与金属漏电极选取不同材料,对...
黄如
王佳鑫
黄芊芊
吴春蕾
朱昊
赵阳
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一种嵌入层异质结隧穿场效应晶体管及其制备方法
本发明公开一种嵌入层异质结隧穿场效应晶体管及其制备方法,属于CMOS超大规模集成电路(ULSI)中场效应晶体管逻辑器件领域。该嵌入层异质结隧穿场效应晶体管的垂直沟道区的两侧分别设有控制栅,该控制栅为L型结构,两个控制栅与...
黄如
吴春蕾
黄芊芊
王佳鑫
朱昊
王阳元
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一种隧穿场效应晶体管的制备方法
本发明公开了一种带隔离的隧穿场效应晶体管的制备方法,属于CMOS超大集成电路(ULSI)中的场效应晶体管逻辑器件与电路领域。在该方法中,采用相对高阻的p型硅片直接用作TFET器件的沟道区和体区,且相比标准CMOS IC工...
黄如
黄芊芊
廖怀林
叶乐
吴春蕾
朱昊
王阳元
文献传递
阶梯栅介质双层石墨烯场效应晶体管及其制备方法
一种阶梯栅介质双层石墨烯场效应晶体管,包括一个底栅电极、一个底栅介质层、一个双层石墨烯有源区、一个金属源电极、一个金属漏电极、一个阶梯顶栅介质层和一个顶栅电极;所述底栅介质层位于底栅电极的上方,双层石墨烯有源区位于底栅介...
黄如
王佳鑫
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朱昊
赵阳
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一种双层石墨烯隧穿场效应晶体管及其制备方法
一种双层石墨烯隧穿场效应晶体管,底栅介质层位于底栅电极的上方,双层石墨烯有源区位于底栅介质层的上方,金属源电极和金属漏电极分别在双层石墨烯有源区的两端,且各覆盖部分双层石墨烯有源区,金属源电极与金属漏电极选取不同材料,对...
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基于深N阱工艺隔离隧穿场效应晶体管的制备方法
本发明公开了一种基于深N阱工艺来隔离隧穿场效应晶体管的制备方法,属于CMOS超大集成电路(ULSI)中的场效应晶体管逻辑器件与电路领域。该方法有效利用了标准CMOS IC工艺中现有的工艺,采用深N阱以及STI区注入N阱的...
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阶梯栅介质双层石墨烯场效应晶体管及其制备方法
一种阶梯栅介质双层石墨烯场效应晶体管,包括一个底栅电极、一个底栅介质层、一个双层石墨烯有源区、一个金属源电极、一个金属漏电极、一个阶梯顶栅介质层和一个顶栅电极;所述底栅介质层位于底栅电极的上方,双层石墨烯有源区位于底栅介...
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一种隧穿场效应晶体管的制备方法
本发明公开了一种带隔离的隧穿场效应晶体管的制备方法,属于CMOS超大集成电路(ULSI)中的场效应晶体管逻辑器件与电路领域。在该方法中,采用相对高阻的p型硅片直接用作TFET器件的沟道区和体区,且相比标准CMOS IC工...
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