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姜波

作品数：24 被引量：0H指数：0
供职机构：南京理工大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信交通运输工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 1篇经济管理
  • 1篇化学工程
  • 1篇建筑科学
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 8篇电极
  • 7篇陀螺
  • 7篇非制冷
  • 5篇陀螺仪
  • 5篇焦平面
  • 5篇红外
  • 5篇非制冷红外
  • 4篇电路
  • 4篇锚点
  • 4篇MEMS陀螺
  • 3篇多量子阱
  • 3篇面阵
  • 3篇晶圆
  • 3篇检测电极
  • 3篇焦平面阵列
  • 3篇红外焦平面
  • 3篇非制冷红外焦...
  • 3篇MEMS陀螺...
  • 2篇单元电路
  • 2篇氮化

机构

  • 24篇南京理工大学

作者

  • 24篇姜波
  • 20篇苏岩
  • 13篇周同
  • 9篇何勇
  • 6篇方中
  • 3篇张晶
  • 2篇王开鹰
  • 2篇赵健
  • 2篇董涛
  • 2篇杨朝初
  • 2篇朱欣华
  • 1篇朱建良
  • 1篇汪晶晶
  • 1篇何伟
  • 1篇白宏阳

年份

  • 7篇2024
  • 3篇2023
  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 4篇2019
  • 3篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2014
共 24 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种外置电极的大电容、高Q值MEMS环形陀螺仪
本发明提供了一种外置电极的高Q值MEMS环形陀螺仪结构，包括环形件、设于环形件外侧并通过周向解耦梁连接的质量块，以及置于质量块内部的梳齿电极和位于环形件内侧的平板电极。该MEMS陀螺仪通过径向连接梁和连接到最外侧的锚点上...
姜波汤浩江苏岩
基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法
本发明公开了一种基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法，制备方法首先在硅基底上制备第一压阻传感器和第二压阻传感器；在硅基底上刻蚀出线圈槽、线圈引线槽；制备线圈、线圈引线；形成氧化绝缘层，为线圈导线、金属连接线互...
姜波彭明迪苏岩朱欣华
文献传递
一种弹性支撑的多环MEMS陀螺仪
本发明属于陀螺仪技术领域，具体涉及一种弹性支撑的多环MEMS陀螺仪。包括辐条、环形件、柔性折叠梁、设于环形件外侧并通过周向柔性折叠梁连接的锚点，位于环形件内侧用于驱动该MEMS陀螺仪结构沿广义空间上相互成45°夹角的驱动...
姜波闫振磊苏岩
一种大电容八质量MEMS陀螺仪
本发明公开了一种大电容八质量MEMS陀螺仪，包括固定锚点、外部固定锚点外部固定锚点、敏感质量块、敏感质量耦合梁、外部解耦质量、内部解耦质量；八个外部固定锚点、八个外部解耦质量、八个敏感质量块、八个内部解耦质量分别围成等边...
黄深湖姜波周怡苏岩
应用于非制冷红外焦平面的承载晶圆快速减薄方法
本发明公开了一种应用于非制冷红外焦平面的承载晶圆快速减薄方法，步骤如下：将晶圆粘附于托盘上；将托盘吸附在晶圆减薄机载片台上，将载片台固定在减薄机主轴，将磨刀固定在磨刀轴，将晶圆上的硅衬底层减薄至预定厚度；将托盘倒置于晶圆...
何勇方中陈哲权苏岩姜波周同
文献传递
非制冷红外探测阵列用自掺杂硅锗/硅多量子阱热敏材料
本发明公开了一种非制冷红外探测阵列用自掺杂硅锗/硅多量子阱结构并具有较高温度电阻系数的热敏材料。材料包括底部接触层、底部隔离层、硅锗/硅多量子阱结构、顶部隔离层和顶部接触层。当隔离层厚度为35~100？nm，硼粒子由接触...
董涛王开鹰姜波何勇杨朝初苏岩
文献传递
一种电极外置的双差分多质量块耦合环形MEMS陀螺仪
本发明为一种电极外置的双差分多质量块耦合环形MEMS陀螺仪。陀螺仪为平面Z轴陀螺，整体结构为旋转对称布置，包括中间的多环结构，设置在多环结构外侧的8或12个外侧质量块，设置在多环结构内侧的8或12个内侧质量块，中间的多环...
姜波李姣龙苏岩周同张晶
一种带有驱动放大耦合结构的四质量微机械陀螺仪
本发明为一种带有驱动放大耦合结构的四质量微机械陀螺仪。陀螺为平面Z轴陀螺，包括关于X、Y轴镜像对称设置的四个质量块，质量块在检测轴Y方向上通过驱动解耦梁分别与质量块两侧的检测框架相连，关于X轴对称的两个检测框架通过耦合结...
葛少雷姜波苏岩王振军周同
基于硅锗/硅多量子阱材料的非制冷红外焦平面阵列研究
8-14μm是常温环境下红外辐射的主要波段,是人类视觉在可见光波段的延伸。随着MEMS技术的发展,自上个世纪九十年代起,非制冷红外焦平面阵列探测器得到了迅速的发展。从最早的氧化钒材料到2000年前后法国ULIS公司推出的...
姜波
关键词：非制冷红外
文献传递
基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法
本发明公开了一种基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法，制备方法首先在硅基底上制备第一压阻传感器和第二压阻传感器；在硅基底上刻蚀出线圈槽、线圈引线槽；制备线圈、线圈引线；形成氧化绝缘层，为线圈导线、金属连接线互...
姜波彭明迪苏岩朱欣华
文献传递
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