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王元庆
王元庆
作品数:
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徐州工业职业技术学院
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合作作者
周琳
徐州工业职业技术学院
权祥
徐州工业职业技术学院
邓敏
徐州工业职业技术学院
焦富强
徐州工业职业技术学院
吕阳
徐州工业职业技术学院
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作者
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焦富强
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王元庆
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1篇
2016
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一种硅片掩膜制绒工艺
一种硅片掩膜制绒工艺,在硅片加工过程中,先用匀胶机在硅片表面涂覆一层厚度均匀且具有自身收缩性的混合硅溶胶,然后在硅溶胶涂层表面均匀沉积一层碳粉,经烘干或者静置处理后,硅片表面形成具有整齐结构掩膜层,相应面积的硅片表面由于...
权祥
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颜续
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一种新型铸锭坩埚及其制备方法
本发明所述新型铸锭坩埚是在现有铸锭坩埚内壁表面喷涂常规氮化硅涂层的基础上,再进行二氧化硅浆料等诱导形核物的二次喷涂制得的提高铸锭收益率的高效铸锭坩埚,其底部的诱导形核物的喷涂还可以采用四边形、六边形等几何图形,该图形也可...
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一种硅片掩膜制绒工艺
一种硅片掩膜制绒工艺,在硅片加工过程中,先用匀胶机在硅片表面涂覆一层厚度均匀且具有自身收缩性的混合硅溶胶,然后在硅溶胶涂层表面均匀沉积一层碳粉,经烘干或者静置处理后,硅片表面形成具有整齐结构掩膜层,相应面积的硅片表面由于...
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