张正宇
- 作品数：5 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：欧盟第七框架计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：天文地球自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 电化学振动传感器
- 回顾了基于铂网编织和MEMS技术的电化学振动传感器的发展历程.电化学振动传感器使用电解液作为惯性质量块,而运动的电解液使机械运动转化为输出电流.与传统的振动传感器相比,电化学振动传感器避免了机械噪声.本文列举了目前世界上...
- 张正宇王军波陈德勇何文涛龚黎明
- 关键词：电极结构微机电技术
- MEMS宽带电化学地震检波器被引量：5
- 2015年
- 针对深部油气勘探的需要,研制了基于微机电系统（MEMS）的宽带电化学地震检波器。仿真分析了影响该检波器频带的结构参数,并对其MEMS实现及封装方法进行了研究。利用有限元软件分析绝缘层厚度和阴极孔径对检波器幅频特性的影响,得到了优化的几何参数。基于仿真结果,利用MENS工艺加工硅基的Pt电极和Su-8的绝缘层,然后用物理紧固的方法进行器件封装。最后,分别在水平振动台和基岩上进行了检波器的性能测试和微震监测实验。实验结果表明：无需进行频率补偿,由20μm孔径阴极和200μm厚绝缘层封装的器件的频带可扩展到3~90 Hz,低频扩展到60S的补偿额度小于30dB,检波器的动态范围不小于130dB。实验显示：这种改进的检波器可以作为宽带地震检波器用于深部或海底的油气勘探。
- 何文涛陈德勇王军波张正宇
- 关键词：宽频带
- 集成式复合敏感电极及其制造方法
- 一种集成式复合敏感电极及其制造方法，该复合敏感电极由四层复合电极堆叠构成，每层复合电极集成间隔层与电极层，电极层布满通孔并且与间隔层的孔径较大的孔相通形成电解液流动的通道；该复合敏感电极采用MEMS加工技术制造，不仅可以...
- 陈德勇邓涛王军波陈健张正宇孙振源李光磊
- 文献传递
- 集成式复合敏感电极及其制造方法
- 一种集成式复合敏感电极及其制造方法，该复合敏感电极由四层复合电极堆叠构成，每层复合电极集成间隔层与电极层，电极层布满通孔并且与间隔层的孔径较大的孔相通形成电解液流动的通道；该复合敏感电极采用MEMS加工技术制造，不仅可以...
- 陈德勇邓涛王军波陈健张正宇孙振源李光磊
- 文献传递
- 一种基于力平衡反馈的电化学地震检波器
- 本发明提供了一种电化学地震检波器，包括拾振单元、转换单元、反馈单元、输出单元、检测电路及反馈电路，其中，拾振单元感应外部震动力，产生震动信号，转换单元将震动信号转换为输出电流，检测电路检测输出电流，得到所述输出信号，反馈...
- 王军波李光磊陈德勇陈健张正宇孙振源邓涛
- 文献传递
