徐书林
- 作品数：3 被引量：5H指数：1
- 供职机构：大连工业大学新能源材料研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划辽宁省教育厅高校重点实验室项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程更多>>
- 新型太阳能电池对电极导电薄膜的性能研究
- 近年来,导电氧化物(TCO, Transparent Conductive Oxide)薄膜作为透明导电薄膜已在薄膜研究中占据主导地位,是材料科学中最重要的领域之一。其中氧化铟锡(ITO,In2O3:Sn)薄膜是目前研究...
- 徐书林
- 关键词：ITO薄膜石英透过率光电性能
- 文献传递
- 石英基底的ITO薄膜制备及光电性能被引量：1
- 2015年
- 采用脉冲磁控溅射法在高纯石英基底上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪、扫描电镜对石英基底上ITO薄膜的微观结构及表面形貌进行了分析,并且研究了溅射气压、溅射时间和衬底温度等工艺参数条件对以石英玻璃作基底制备的ITO薄膜的光电性能的影响。结果表明,在以石英为基底的氧化铟锡透明导电膜,在气压0.7Pa、溅射功率45 W条件下,基片温度为300℃,溅射时间为45min时,可见光透过率达83%,方块电阻达到5Ω左右。
- 徐书林胡志强张临安聂铭歧张海涛
- 关键词：氧化铟锡薄膜石英
- PET衬底上ITO薄膜的制备及光电性能被引量：4
- 2014年
- 用脉冲磁控溅射法在柔性衬底聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,研究了溅射气压、时间和衬底温度等工艺条件对ITO薄膜光电性能的影响,并采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的物相结构与表面形貌进行了分析。结果表明:薄膜的平均晶粒尺寸随衬底温度的升高而增大;当溅射时间增加时,方块电阻与光透过率均减小;当衬底温度升高时,方块电阻减小,可见光透过率增大。
- 杨坤胡志强徐书林王海权于洋刘贵山姜妍彦张海涛
- 关键词：氧化铟锡薄膜PET
