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张琼

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇数值仿真
  • 1篇提拉法
  • 1篇涂胶
  • 1篇膜厚
  • 1篇膜厚均匀性
  • 1篇均匀性
  • 1篇仿真

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇李木军
  • 1篇叶回春
  • 1篇沈连婠
  • 1篇张琼

传媒

  • 1篇新技术新工艺

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多次提拉法涂胶工艺及其过程仿真被引量：2
2015年
为在圆柱基底上制备一定厚度的均匀光刻胶膜层,进行了提拉法涂胶试验,并结合试验建立了数值模型,模拟仿真了不同工况下的液膜轮廓,仿真计算得到的膜厚与试验结果有很好的一致性。仿真计算与试验结果表明,其提接速度越快,胶层厚度越大,膜层厚度均匀性随速度的增大而变差。膜层厚度与均匀性的这种变化特征使单次提拉法的应用范围有很大的局限性。针对此问题,进一步研究了多次提拉法涂胶,并在圆柱体基底上得到了较厚且较均匀的胶膜层。
张琼李木军沈连婠叶回春谢俊舰
关键词：膜厚均匀性数值仿真
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共1页<1>
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