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王星博

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：西南科技大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇中间层
  • 1篇膜层
  • 1篇膜层质量
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石膜
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射制备
  • 1篇SINX
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射制备

机构

  • 1篇西南科技大学

作者

  • 1篇王烈林
  • 1篇王金枝
  • 1篇王星博
  • 1篇陈青云
  • 1篇王茜
  • 1篇罗瑜

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种SiNx中间层磁控溅射制备类金刚石膜的方法
本发明公开了一种SiN<Sub>X</Sub>中间层磁控溅射制备类金刚石膜的方法。本发明是将衬底Si基片清洗处理后，先在基片表面形成一层缓冲层SiN<Sub>X</Sub>薄膜，然后以高纯碳靶作为靶材，Ar作为工作气体，...
陈青云王茜王金枝罗瑜王烈林王星博邓云礼
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