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孙博韬
作品数:
23
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
交通运输工程
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合作作者
王立新
中国科学院微电子研究所
张彦飞
中国科学院微电子研究所
宋李梅
中国科学院微电子研究所
丁艳
中国科学院微电子研究所
肖超
中国科学院微电子研究所
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中国科学院微...
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作者
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孙博韬
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王立新
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宋李梅
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丁艳
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韩郑生
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高博
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一种阳极栅MOS晶闸管及其工艺方法
本申请提供的一种阳极栅MOS晶闸管及其工艺方法,涉及半导体器件领域,包括:阳极端,所述阳极端包括第一NMOS结构;第一栅电极,所述第一栅电极下方形成所述第一NMOS结构;N+缓冲层,其中,所述N+缓冲层在晶闸管导通状态下...
胡飞
宋李梅
孙博韬
韩郑生
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一种半导体场效应晶体管及其制造方法
本发明公开了一种半导体场效应晶体管及其制造方法,该方法包括:在半导体衬底上的第一部分区域形成掩膜层;以掩膜层为掩蔽依次在半导体衬底中形成阱区、源极区和生长出局部硅氧化层;去除掩膜层;依次形成栅氧层和多晶硅层,以获得半导体...
孙博韬
王立新
张彦飞
文献传递
一种静电保护结构
本发明公开了一种静电保护结构,设置于需要进行静电保护的器件的两个极之间,包括:外延层;两个第一阱区,位于所述外延层的表层;所述两个第一阱区中分别设置有一个第二阱区,共两个第二阱区;所述两个第二阱区分别与所述两个极接触;所...
孙博韬
王立新
张彦飞
文献传递
一种超结器件
本发明公开了一种超结器件,所述器件包括:外延层,外延层中有超结结构,超结结构为交替设置的多根第一掺杂立柱和多根第二掺杂立柱,其中,第一掺杂立柱与第二掺杂立柱的掺杂类型不相同;多个表面结构,包括:第一掺杂阱区和设置在第一掺...
杨尊松
王立新
肖超
宋李梅
孙博韬
陆江
罗小梦
罗家俊
文献传递
一种半导体场效应晶体管及其制造方法
本发明公开了一种半导体场效应晶体管及其制造方法,该方法包括:在半导体衬底上的第一部分区域形成掩膜层;以掩膜层为掩蔽依次在半导体衬底中形成阱区、源极区和生长出局部硅氧化层;去除掩膜层;依次形成栅氧层和多晶硅层,以获得半导体...
孙博韬
王立新
张彦飞
文献传递
一种具有网状外延结构的超结MOSFET
本发明属于半导体技术领域,公开了一种具有网状外延结构的超结MOSFET,包括:衬底、网状外延层、阱区、结型场效应管JFET区、栅介质层、多晶硅栅极、隔离介质层、金属源电极以及金属漏电极;在网状外延层生长在衬底上;阱区与结...
孙博韬
王立新
宋李梅
张彦飞
高博
一种用于单粒子激光脉冲试验的功率VDMOS器件
本实用新型属于半导体试验测试技术领域,公开了一种用于单粒子激光脉冲试验的功率VDMOS器件;包括:VDMOS芯片以及表贴管壳;所述VDMOS芯片封装在所述表贴管壳内;在所述表贴管壳背面,对应VDMOS芯片漏极位置设置通孔...
高博
丁凯凯
刘刚
王立新
韩郑生
张彦飞
孙博韬
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一种具有全方位电流扩展路径的沟槽MOSFET
本发明公开了一种具有全方位电流扩展路径的沟槽MOSFET,包括:衬底101;覆盖在衬底101内的第一结构层102;覆盖在第一结构层102内的第二结构层103;覆盖在第二结构层103内的第三结构层104;位于第三结构层10...
丁艳
王立新
张彦飞
孙博韬
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一种垂直双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管
本发明公开了一种垂直双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管,包括:衬底、P阱区、N阱区、栅氧化层和栅极;其中,栅极包括:第一栅极和第二栅极,第二栅极位于第一栅极和衬底之间;第一栅极与第二栅极之间的栅氧化层厚度为第一厚度;第二...
孙博韬
王立新
单尼娜
文献传递
一种超结MOS晶体管
本发明公开了一种超结MOS晶体管,其特征在于,包括:外延层,外延层中交替设有多根P型立柱和多根N型立柱,其中,每相邻两根P型立柱之间的区域为一根N型立柱;多个表面MOS结构,包括:P阱区、N阱区、栅氧化层和栅极;其中,每...
孙博韬
王立新
张彦飞
肖超
宋李梅
丁艳
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