蔡琪
- 作品数：24 被引量：116H指数：6
- 供职机构：安徽大学物理与材料科学学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金安徽省自然科学基金安徽省人才开发基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信化学工程更多>>
- 纳米TiO2薄膜的制备与表面形貌研究被引量：22
- 2008年
- 研究退火温度对薄膜相结构、表面化学组成及形貌的影响。采用射频磁控溅射法在单晶硅片上淀积TiO2薄膜,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和X光电子能谱(XPS)对其进行表征。结果表明,室温制备400℃以下退火的TiO2薄膜为无定形结构,400℃以上退火的TiO2薄膜出现锐钛矿相,600℃以上退火的TiO2薄膜开始出现金红石相,退火温度在1000℃以上时样品已经完全转变为金红石相;随着退火温度的升高,晶粒尺寸和表面粗糙度逐渐增大,但是当退火温度为1000℃时反而有所减小,晶粒尺寸和表面粗糙度在退火温度为1000℃时发生的这一突变现象,是由该退火温度下的相变导致。
- 孟凡明周明飞蔡琪孙兆奇
- 关键词：TIO2薄膜磁控溅射锐钛矿金红石
- 氧化铟锡薄膜的椭偏光谱研究被引量：14
- 2008年
- 用溅射法在Si片上制备了厚度为140nm的氧化铟锡（ITO）薄膜。X射线衍射研究表明所制备的薄膜为多晶结构。在1．5～4．5eV范围内对ITO薄膜进行了椭偏测量。分别用德鲁德-洛伦茨谐振子（Drude4-Lorenzoscillators）模型、层进模型结合有效介质近似模型对椭偏参量ψ、△进行了拟合，得到ITO薄膜的折射指数n的变化范围在1.8～2.6之间，可见光范围内消光系数k接近于零，在350nm波长附近开始明显变化，且随着波长的减小k迅速增加。计算得到直接和间接光学带隙分别是3．8eV和4．2eV。并在1．5～4．5eV段给出一套较为可靠的、具有实用价值的ITO介电常量和光学常量。
- 孙兆奇曹春斌宋学萍蔡琪
- 关键词：薄膜光学ITO薄膜
- Au-MgF2复合纳米金属陶瓷薄膜的制备、微结构及其光电特性的研究
- 复合纳米颗粒薄膜,特别是纳米贵金属微粒镶嵌于陶瓷基体中所构成的一种新型功能薄膜材料,由于其具有传统复合材料和现代纳米材料两者的优越性,成为目前复合材料发展的主要动向之一,引起了材料科学界、物理学界、化学界和产业界的普遍关...
- 蔡琪宋学萍孙兆奇
- 文献传递
- Au-MgF2复合纳米颗粒薄膜有效介质理论的颗粒尺寸效应修正
- 近代科学技术的发展,对材料提出了越来越高的性能要求,促进了复合材料的快速发展。作为一类新型的功能薄膜材料,由尺度为纳米量级的金属颗粒弥散于陶瓷基体中所构成的复合金属陶瓷薄膜体系,由于具有许多独特的光电性能,如显著的三阶非...
- 江锡顺曹春斌蔡琪宋学萍孙兆奇
- 文献传递
- 分形理论及其在薄膜微结构研究中的应用被引量：1
- 2007年
- 介绍分形的基本概念以及几种常用的计算简单分形维数的方法,用分形研究Au-MgF2纳米金属介质复合薄膜中Au颗粒和半连续Ag膜中Ag小岛的分布规律。结果表明:复合薄膜中Au颗粒的分形维数随Au含量的增加由1.5516逐渐增大到1.7671,表明金属介质复合薄膜中Au颗粒的平均尺寸随着Au含量的增加而增大;半连续Ag膜中Ag小岛的分形维数随厚度的增加从1.4051增大到1.7428,说明半连续Ag膜的覆盖率随着其厚度的增加而增大。这一结果与实验结果一致,因此分形可以用来定量表征薄膜显微结构的演化规律。
- 吕建国蔡琪宋学萍孙兆奇
- 关键词：分形分形维数
- 动态椭偏光谱技术及其在薄膜测量中应用的研究
- 2005年
- 文章介绍了动态反射式椭圆偏振光谱技术的原理,采用椭圆偏振光谱技术测量得到P型Si(111)晶片,利用直流溅射制备的不同厚度Cu膜样品的椭偏光谱;利用特定的解谱程序并结合实验参数,对椭偏光谱进行解谱得到了样品的光学常数谱及其厚度;对于P型Si(111)晶片的光学常数谱,通过与Palik数据比较可以发现两者极为相似,只是在数值上存在差异;对于不同厚度的Cu膜样品,从晶粒尺寸、致密度和缺陷等方面分析了光学常数随厚度变化的原因;通过分析比较得知,经过拟合计算得到的P型Si(111)晶片和Cu膜样品的光学常数具有很高的准确性。
- 王佩红王磊蔡琪孙兆奇
- 关键词：光学常数CU膜
- Au-MgF<,2>复合纳米金属陶瓷薄膜的制备、微结构及其光电特性的研究
- 采用射频磁控共溅射技术成功地制备Au的体积百分比分别为6％、15％、25％、40％、50％和60％的一系列Au-MgF<,2>复合纳米金属陶瓷薄膜.根据不同的性能测试要求,采用了不同的基片,淀积了不同厚度的薄膜.用X射线...
- 蔡琪
- 关键词：磁控共溅射复合材料
- 文献传递
- Au-MgF_2复合薄膜非规则微结构的多重分形表征被引量：3
- 2006年
- 研究不同体积分数Au-MgF_2复合薄膜的非规则微结构,采用局部消除异常法获得薄膜的多重分形谱,结果显示：随着Au体积分数的增加,表征薄膜分布不均匀性的分形谱宽△α从1．4845减小到0．1308,表明薄膜中Au颗粒的分布越来越均匀。当Au体积分数6．0%和13．8%时,△f厂为负值,而当Au体积分数为38．2%和62．6%时,△f为正值,说明随着体积分数的增加,薄膜中Au颗粒的尺寸分布由小尺寸Au颗粒为主导分布,向大尺寸Au颗粒为主导分布的过渡。
- 吕建国高清维蔡琪宋学萍孙兆奇
- 关键词：多重分形谱
- 有效介质理论在Ag-MgF_2复合纳米颗粒薄膜中的应用被引量：7
- 2003年
- 将描述弥散体系行为的Maxwell Garnett理论与Bruggeman理论应用于Ag MgF2 复合纳米颗粒薄膜 ,分别计算出该复合体系在 2 5 0nm～ 830nm波段范围内的光学常数n、k随波长λ的变化 ,并与实验结果进行比较。发现较之普遍采用的Maxwell Garnett理论 ,由Bruggeman理论计算出的n λ、k λ曲线的峰位、峰宽及峰位随Ag组分质量百分率的位移都与实验结果更为接近。
- 王佩红蔡琪王磊孙兆奇
- 关键词：有效介质理论光学性质电学性质
- Au-MgF_2复合纳米颗粒薄膜的制备和微结构被引量：5
- 2004年
- 用射频磁控共溅射法制备了Au体积分数分别为 6 %、1 5 %、2 5 %、4 0 %、5 0 %和 6 0 %的Au MgF2 复合纳米颗粒薄膜。用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱对薄膜的微结构和组分进行了测试分析 ,分析结果表明 :制备的Au MgF2 复合纳米颗粒薄膜由fcc Au晶态纳米微粒镶嵌于主要为非晶态的MgF2 陶瓷基体中构成 ,当Au体积百分含量由 1 5 %增至 6 0 %时 ,其平均晶粒尺寸由 5 1nm增大到 2 1 2nm ,晶格常数由 0 39984nm增大到 0 4 0 74 3nm ;随Au体积百分含量由 6 %增至5 0 % ,其颗粒平均粒径则由 9 8nm增至 2 1 4nm。名义组分为vol.6 0 %Au MgF2 样品中Au的体积百分含量约为 6 2 6 % ,与设计值基本一致。
- 蔡琪王磊王佩红宋学萍孙兆奇
- 关键词：微结构射频磁控溅射纳米材料
