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胡静洁

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：航空宇航科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 4篇电容
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 4篇磁场传感
  • 4篇磁场传感器
  • 2篇底电极
  • 2篇微机电系统
  • 2篇牺牲层
  • 2篇金属线
  • 2篇机电系统
  • 2篇硅衬底
  • 2篇衬底
  • 2篇传感器结构
  • 2篇磁场
  • 2篇磁场方向
  • 2篇电系统
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硅
  • 1篇电介质

机构

  • 5篇东南大学

作者

  • 5篇胡静洁
  • 4篇张澄
  • 4篇陈洁
  • 4篇李嘉鹏

年份

  • 1篇2018
  • 2篇2015
  • 2篇2013
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种电容式微机电磁场传感器
本发明公开了一种电容式微机电磁场传感器，该磁场传感器包括从下向上依次叠加设置的硅衬底、二氧化硅层、多晶硅层和氮化硅层，二氧化硅层的中部为空心，多晶硅层和氮化硅层中部设有U形梁，氮化硅层的四周设为锚区，U形梁根部与锚区固定...
陈洁张澄胡静洁李嘉鹏
文献传递
一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器
本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、金属层和氮化硅层，牺牲层的中部和金属层的中部均为空心，氮化硅层的中部为弯曲板，弯曲板的一侧设有向外延伸的凸板，金属...
陈洁张澄胡静洁李嘉鹏
文献传递
MEMS中氮化硅电介质的空间应用可靠性研究
微电子机械系统(MEMS,Micro-electro-mechanical-system)是指可批量制备的，集微型结构、微型传感器、微型执行器，信号处理和控制电路，以及接口、通信和电源于一体的微型器件或系统，其特征尺寸从...
胡静洁
关键词：微电子机械系统辐照效应空间环境
一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器
本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、金属层和氮化硅层，牺牲层的中部和金属层的中部均为空心，氮化硅层的中部为弯曲板，弯曲板的一侧设有向外延伸的凸板，金属...
陈洁张澄胡静洁李嘉鹏
文献传递
一种电容式微机电磁场传感器
本发明公开了一种电容式微机电磁场传感器，该磁场传感器包括从下向上依次叠加设置的硅衬底、二氧化硅层、多晶硅层和氮化硅层，二氧化硅层的中部为空心，多晶硅层和氮化硅层中部设有U形梁，氮化硅层的四周设为锚区，U形梁根部与锚区固定...
陈洁张澄胡静洁李嘉鹏
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