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聂兆磊

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:上海交通大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇电化学
  • 1篇电化学刻蚀
  • 1篇电控
  • 1篇电控系统
  • 1篇电控系统设计
  • 1篇电源
  • 1篇仪器
  • 1篇占空比
  • 1篇微纳加工
  • 1篇系统设计
  • 1篇脉冲
  • 1篇脉冲电源
  • 1篇纳秒
  • 1篇刻蚀
  • 1篇MOSFET

机构

  • 2篇上海交通大学

作者

  • 2篇聂兆磊
  • 1篇言勇华
  • 1篇赖磊捷
  • 1篇朱利民

传媒

  • 1篇机电一体化

年份

  • 2篇2013
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
新型电化学微纳加工仪器的电控系统设计
随着医药、生物、航空、军事等领域的技术革新和发展,人们越来越需要用一个微小器件就能执行许多功能,尤其是半导体技术的发展对微纳加工技术提出了更高的要求。本文研究新型微细电化学加工技术(主要是约束刻蚀剂层技术和基于琼脂糖凝胶...
聂兆磊
关键词:电化学刻蚀电控系统系统设计脉冲电源
文献传递
纳秒级脉冲电源的研制
2013年
根据微细电化学加工的工艺特点,采用FPGA和MOSFET设计了双MOSFET的电化学加工纳秒级脉冲电源。该脉冲电源可以提供脉宽和脉间以及占空比可调的纳秒级脉冲,输出脉宽最小可达40 ns,提高了加工过程的稳定性和加工极限能力;并利用阳极腐蚀结合湿印章的"电化学湿印章技术"实现了微细电化学加工,获得了较高的分辨率。
聂兆磊赖磊捷朱利民言勇华
关键词:脉冲MOSFET纳秒电源占空比
共1页<1>
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