齐鸣 作品数:16 被引量:18 H指数:2 供职机构: 中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 自动化与计算机技术 更多>>
横向过生长(LEO)外延GaN材料及其生长机理 被引量:1 2001年 由于没有合适的衬底材料与之匹配,使外延生长的 GaN材料缺陷密度很大,从而限制了它的应用。采用 LEO(横向过生长外延 )技术能使缺陷密度降低 3~ 4个数量级,可生长出高质量的 GaN材料。本文简要介绍了应用 LEO技术生长 GaN材料的现状及对生长机理研究的进展。 魏茂林 齐鸣 李爱珍关键词:氮化镓 半导体 LEO GaN材料的横向外延过生长(LEO)及其特性研究 被引量:1 2002年 对用LEO技术生长GaN材料的选择生长和横向生长速率进行了实验研究。结果表明,作为LEO生长基板的GaN层的表面质量是实现选择生长的关键,而图形方向对横向生长速率与纵向生长速率之比(L/V)也有重要的影响。通过选择合适的工艺条件,实现了GaN材料的LEO外延生长,所得样品的X射线衍射峰宽比用常规MOCVD法生长的样品减小了1/3。 魏茂林 齐鸣 孙一军 李爱珍关键词:MOCVD 氮化镓 GaN基材料的RF等离子体MBE生长与特性 齐鸣 李爱珍 李伟 赵智彪 张永刚 陈建新关键词:GAN基材料 MBE生长 1.3μm InAsP/InGaAsP应变补偿量子阱激光器 被引量:1 2000年 采用气态源分子束外延方法及应变补偿生长工艺生长了InAsP/InGaAsP应变补偿多量子阱激光器材料,采用选择刻蚀和聚酰亚胺隔离工艺制作成了脊波导型1.3μm激光器芯片并对芯片性能进行了统计测量,测量结果表明此种激光器芯片在室温下的阈值电流可小于10mA,在25oC至90oC温度范围内特征温度大于90K,并表现出较好的单纵模特性。 张永刚 陈建新 陈意桥 齐鸣 李爱珍关键词:量子阱激光器 INASP/INGAASP RF Plasma MBE生长GaN材料及特性研究 1999年 用RFPlasma MBE方法生长出了GaN 材料,它的X 射线衍射半峰宽为335 秒,77K 下PL发光峰半峰宽为22meV,表明了材料具有较高的晶体质量。根据X射线衍射分析,位错密度约为7 .3 ×108cm -2 。用Si 作为掺杂剂,所得载流子浓度可覆盖1017 - 1019cm -3 的范围。掺Si GaN 的PL谱表明,Si 的引入可提高材料的发光效率。 李伟 赵智彪 郑燕兰 李存才 杨全魁 胡建 齐鸣 李爱珍关键词:PL谱 氧化镓 客户机/服务器体系结构的研究与应用--民航华北空管局生产运行管理信息系统的设计与实现 该文从局域网综合MIS的开发角度出发,以民航华北空管局生产运行管理信息系统(CAATCMIS)作为问题探讨的实际背景,针对综合MIS中局域网网络系统的设计、局域网数据库系统的设计以及客户机/服务器体系结构下的异机种数据库... 齐鸣关键词:管理信息系统 氮化sio_2薄膜及其界面特性的研究 齐鸣最高振荡频率为46 GHz的GaInP/GaAs异质结双极晶体管 被引量:2 1995年 最高振荡频率为46 GHz的GaInP/GaAs异质结双极晶体管钱峰,陈新宇,肖秀红,姚晓峨,周天舒,潘菁,陈效建(南京电子器件研究所,210016)齐鸣,李爱珍(中科院上海冶金所,200050)Af_(max)=46GHzGaInP/GaAsHBT... 钱峰 陈新宇 肖秀红 姚晓峨 周天舒 潘菁 陈效建 齐鸣 李爱珍关键词:异质结 双极晶体管 半导体器件 MOMBE法生长重C掺杂p型GaAs、InGaAs和SLS特性及其在HBT中应用的研究 齐鸣立方GaAs(100)衬底上制备单相六方GaN薄膜 被引量:4 2001年 立方 Ga As (10 0 )衬底上制备的 Ga N薄膜多为立方结构且立方相为亚稳相 ,采用水平常压 MOCVD方法在立方 Ga As (10 0 )衬底上制备出了 Ga N薄膜 . XRD测试表明 ,薄膜具有单一的相 .结合对工艺条件的分析 ,认为薄膜具有六方结构 .最后 ,通过 Raman光谱测试 ,证实在立方 Ga As衬底上制备出了单相六方 Ga N薄膜 .还对立方 Ga As衬底上制备出六方 Ga 孙一军 李爱珍 齐鸣关键词:金属有机化学气相沉积 氮化镓 砷化镓衬底